每日问题异常点.xls

Sheet3 Sheet2 Sheet1 日期 设备 线别 故障类别 故障内容 故障原因 对策 结案 问题补充及反馈 上料机 TP9 品质异常 上料机破片三枚 厂家暂未找出对策 NG 前清洗 动作异常 入口基板破片检知 玻璃传送至前清洗入口时撞到边导轮使传感器误判 厂家已调试OK OK 基板传送至前清洗入口传送时，玻璃振动发出声音 玻璃撞到入口段人机界面侧边导轮所致 厂家调整边导轮后测试OK 涂布机 传送异常 玻璃在涂布台面上传送导轮转动，玻璃不走 中间自由轮过高 厂家调整涂布机台面自由轮后跑片OK 显影机 风刀吹不干净 厂家暂未调整 后烘烤 破片 玻璃在入口传送处破片 此玻璃上有水渍导致顶Pin上升时使玻璃发生破片 将玻璃取走，无尘布擦拭水渍，OK 下料机 程序异常 下料机玻璃蓝下降过程中前面玻璃因程序误启动传送至玻璃蓝，导致玻璃蓝卡板 厂家修改软体增加互锁状态后观察OK 其它 玻璃在玻璃蓝内参差不齐 要求厂家进一步整改 TP11 前清洗入口一水管漏水 厂家用焊枪修复 温度异常 显影A槽温度单元跳闸 实际温度高于设定问题 厂家将设定温度高于实际设定值，并将空气开关重启后OK 前清洗温度单元报警导致停机 但实际温度并未超过设定温度值 将总电源关机重启后OK 要求厂家将信号线包裹起来，以免发生误电操作 厂家答复明天会进行包裹信号线 已添加OK 因TP9线未跑片，厂家回复明天进行处理 TP10 泄漏 管道漏水 厂家进行修复 显影槽管道漏水 信号异常 因两根信号线脱落导致无输出信号 厂家修复OK 玻璃进入前清洗入口振动幅度过大 厂家未解决 横移超过右极限报警 关机重启，原点复位后OK 出现两次，要求厂家处理 卡板 风刀处卡板 机械式传感器位置过低且螺丝松动，误报警 厂家调整传感器高度后观察OK 厂家调试OK 前烘烤 横移搬臂整列压力过大导致玻璃轻微变形 厂家暂未处理 厂家处理处理OK 横移下降逾时报警 厂家设置参数有误 厂家修改系统内部参数后OK 显影1槽缺少两个喷嘴，与中压喷淋槽喷淋管堵塞导致喷淋不均 厂家明天对其处理 已修复OK 玻璃传送至前清洗入口卡板 上料机至前清洗入口玻璃易撞到两边边导轮，且前清洗导轮与上料机传送导轮排布不均 厂家调整导轮使导轮利于传送，后测试OK 前清洗出口基板破片检知 出口导轮撞到两边边导轮所致 厂家调整OK 厂家调整两边导轮与前清洗入口处两边导轮，使两边导轮在同一水平线上，防止玻璃振动使感应器误报警 脏污 前烘烤固定点脏污 厂家擦拭，但未测实际效果 冷却台CP1超温报警 因冰水机电源未开启导致无冰水进入，有流量但压力表无压力显示以及冰水机出管道漏水 已通知厂商，厂商告知明天处理 揭开加热盖板无警报 要求厂商追加软体部分，已告知厂商 前烘烤入口处破片 原因不详 清理碎片，观察OK Buffer 玻璃蓝有玻璃不传送，涂布机传送导轮转动但不接受上游玻璃 排查为：Buffer 给下游涂布机已传输请求信号，但涂布机没给上游Buffer 信号 但Buffer 厂家与涂布机厂家协商讨论此异常之所属设备，因下游前烘烤入口处破片导致停机，此以上两厂家认为信号无异常，后观察测试及模拟信号都异常 玻璃整面性剑影 厂家暂未解决 厂家调试涂布机，导入PGMEA及 导入光阻均导不出 抽液泵不转动，导致无压力 厂家调试及增大抽液泵压力后OK 设备内有玻璃但此设备不动作 排查为高温第七层耐热高温放大器损坏 厂家无备品，需从台湾发货 曝光前BUFFER 玻璃进入Buffer 易卡板 前烘烤出口导轮与Buffer 导轮不在同一水平线上所致 厂家调整两边导轮后观察OK 曝光前Buffer 整列异常 气压过小 厂家调节压力控制阀后OK 显影机2、3段卡板 玻璃易撞到两边边导轮所致使传感器误报警 厂家未调整 修复OK 风刀吹不干净玻璃上有水渍 涂布机涂布泵异常 厂家正查找原因中 脱脂槽已喷淋管脱落 连续放四片白波测试轮印大角右下 大角处连续破片三枚 厂家未找到原因，后跑片测试OK，重点跟踪 显影1槽两个白色喷淋管脱落 未调好NG 处理OK 检测玻璃蓝下降的两Sensor 被拆下装到其它线用 暂无备品已告知发货 前烘烤报警报黄灯非红灯 已告知厂家，暂未处理 曝光机 曝光前Buffer 内有玻璃不往下游发片 曝光机人机界面CP段显示信号接受中断 Buffer 厂家修改软体，后观察测试OK 轮印 显影机轮印一条轮印，一条胶轮印 厂家正积极改善中 卡板 显影3槽卡板 玻璃撞到两边边导轮导致玻璃不传送 厂家调试中 人为放片整列夹碎 调试OK CP1破碎一片 破真空时间太慢 厂家修改破真空时间后，观察OK 箭影 涂布机涂布箭影 厂家调整NG 玻璃在涂布台面上传送导轮转动，玻璃打滑 已告知厂家，厂家暂未处理 人机界面显示CP2 破片（多次） 查看CP2