电镜原理与使用2.pptVIP

3 透射电子显微镜的结构 3.1电子枪 发射电子，由阴极、栅极、阳极组成。阴极发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束，经阳极电压加速后射向聚光镜，阳极起到对电子束加速的作用。 3.2聚光镜 作用是将光源（电子束）会聚到样品上并调节光源在样品上的照明直径。 设荧光屏的尺寸为 D=160mm，放大倍数为1000X，则样品需要照明区域为： d=D/M=160/1000=160um 而放大倍数为100KX，则样品只需要照明区域为： d=D/M=160/100000=1.6um 电子枪的“有效光源”尺寸，即交叉斑的尺寸为50?m 左右，显然这样尺寸的光源照射在样品上是不合适的。 3.3样品室 能在保持电镜真空的前提下更换观察的样品，并能进行样品的移动、倾斜、旋转。 3.4物镜 靠近样品的放大磁透镜。形成样品一次放大图像。 一般是强励磁，短焦距磁透镜。为了得到放大图像，样品放在靠近物镜位置（满足 a 2f ），一般放在物镜的前焦距附近。 物镜放大倍数一般为100X-200X。 3.5中间透镜 中间透镜是一个可变倍率的弱透镜。它的作用是将物镜成的一次像再放大，并成像于投影镜的物平面上。 放大倍数可调，0X-20X之间。 3.6投影镜 近经过中间透镜形成的二次像放大到荧光屏上，形成最终的电子显微图像。放大倍数100－200X 3.7像的记录与观察 通过前玻璃窗观察荧光屏上的像。 荧光屏可将电子的能量转化为可见光。 由电子感光底片记录图像，或由CCD相机以数字方式存储。 3.9真空系统 为了防止电子在行进过程中受到气体分子的干扰，电镜内部保持的真空度要在10-5托（10-8大气压）以上。电源系统的高稳定度也是保证图象质量的重要因素之一。目前一些高性能电镜的样品室真空度可优于10-7托，电源稳定度已达10-6/分钟。 绝对真空：指完全没有任何物质的空间。绝对真空是永远达不到的。 气压：空气的压强。气压高真空度低，气压低真空度高。 真空度的单位：Pa（帕）、Torr(乇) 1Pa=1g/M2 1Torr=1mmHg 1大气压=760mmHg=105Pa =760Torr 真空划分： 粗真空：105Pa—103Pa 低真空：103Pa—0.1Pa 高真空：0.1Pa—10-6Pa 超高真空： ＜ 10-6Pa 电子显微镜对真空度的要求 ＜ 10-3Pa 实现方式：机械泵、扩散泵、阀门、控制电路 3.10电源供应系统 电源不稳定对电子显微镜成像的影响： 高压波动引起电子束波长波动，引起透镜对电子束聚焦能力的改变。 透镜电流波动引起透镜焦距改变 电子显微镜对电源稳定度的要求： 电子枪高压波动10-6/min（100KV每分钟波动小于0.1V） 透镜电流波动10-6/min（1A电流每分钟波动小于1uA） 4 JEM-100SX透射电子显微镜的使用 启动：闭合电子显微镜稳压电源开关与冷却循环水稳压电源开光，压下启动按钮。约30分钟后仪器进入可工作状态。 放入样品：按程序放入样品。 加高压：有下列几档可选 40KV、60KV、80KV 、100KV，若需高压应先加低压。选择加速电压原则：电压越高，分辨率越高，反差越小；反之，电压越低分辨率越低，反差越大。 加灯丝电源：顺时针旋转至限位处（加灯丝电源必须有高压存在），此时应看到图象，若不能看到图象，请与专职人员联系，切勿随意调整各旋钮。 观察:调整放大倍数、亮度、样品XY平移、焦距进行观察。 照相：将要照相部位移至视野中心标记方框内，过卷，调整焦距、亮度至自动曝光两个绿灯同时亮，抬起荧光屏进行曝光。 关机：将放大倍数调至1000X，调整亮度正好充满荧光屏，取出样品，灯丝旋钮调至最低，高压调至OFF，压下关闭按钮，约5分钟后仪器关闭，切断两个稳压电源开关。 记录：包括使用起至时间、观察内容、使用人及所属单位及导师，仪器工作情况。 * 电子束照明系统 样品室 成像系统 真空系统 记录系统 电子枪 聚光镜 物镜 中间镜 投影镜 电源供应系统 3.8放大倍数的控制(JEM-100SX) *