MEMS加速度计误差的高精度标定方法_王小春.pdfVIP

MEMS与传感器 MEMS器件与技术 MEMS and Sensors MEMS Device Technology ＭＥＭＳ加速度计误差的高精度标定方法 王 小春 ，李 荣冰 ，杭义 军 ，孙永荣 （ ， ） 南京航空航天 大学 导航 研究中心 南京 ２１００１６ 　 ： （ ） ， 摘要 针 对微 小型惯性 测量单元 ＭＩＭＵ 工程应用 的实 际条件 设 计 了 ＭＥＭＳ加 速 度 计组安 装误差 与 温度 漂移误差 的 两步 解耦标 定方 法 。该 标 定 方 法基于 ＭＩＭＵ 结构封装确 定 、三 轴加 速 度 计之间安装 关 系固定 、非正交因数稳定 不随环境 温度 变化 的特 点 ，在 常温下进行一 次安装标 定 非正交误差 ，在 全 温 范围 内标 定 温度 漂移误差 。实验结果表 明 ，该标 定方 法校 正 了加 速度 计 的温 度 漂移误差和 非正交误差 ，在 全 温 范围 内加 速度 计 的使 用精 度提 高 了一 个数量级 ，且 该模 型具有 良好的重复性 ，便 于工程实现 。 ： （ ）； ； ； ； 关键词 微 型惯性 测量单元 ＭＩＭＵ ＭＥＭＳ加 速度 计 误差模 型 六位置 标 定 温度补偿 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＨ７０３ Ａ １６７１－４７７６ ２０１２ １１－０７４３－０６ 　 　 ＨｉｈＰｒｅｃｉｓｉｏｎＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄ ｆｏｒｔｈｅ ｇ－ 　 　 　 　 ＥｒｒｏｒｏｆＭＥＭＳ Ａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓ 　 　 　 ， ， ， Ｗａｎ Ｘｉａｏｃｈｕｎ ＬｉＲｏｎ ｂｉｎ Ｈａｎ Ｙｉｕｎ ＳｕｎＹｏｎ ｒｏｎ ｇ 　 ｇ ｇ ｇ ｊ 　 ｇ ｇ 　 　 （ ， ， ， ） Ｎａｖｉ ａｔｉｏｎＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒ Ｎａｎ ｉｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔ ｏ ＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓａｎｄＡｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ Ｎａｎ ｉｎ ２１００１６ Ｃｈｉｎａ ｇ 　 　 ｊ ｇ ｙ ｆ 　 　 ｊ ｇ 　 　 　 ： Ａｂｓｔｒａｃｔ Ａｃｃｏｒｄｉｎ ｔｏｔｈｅａｃｔｕａｌｃｏｎｄｉｔｉｏｎｏ