LCD十字标线定位检测.docVIP

LCD十字標線定位檢測摘要 本文介紹液晶顯示器(LCD)的製程中相關之檢測工作，並針對液晶顯示器基板之定位微影裝置詳加說明，在液晶顯示器基板組裝過程裡，如何使基板公十字標線精確的與母十字標線對準是相當重要的步驟。在文中描述如何使用微影技術之機器視覺識別系統，利用CCD影像檢測器抓取LCD板公、母十字標線之影像後，以影像處理設備與個人電腦所構成的檢測系統予以分析，再透過三軸位移控制及輸送帶與真空吸附裝置，讓上下兩片LCD基板能精準組合。 液晶顯示器及其製程簡介 液晶材料具有流動的特性，因此只需外加很微小的力量，液晶分子即運動而產生不同的排列狀況，如圖1以最常見普遍的向列型液晶為例，藉著電場作用造成液晶分子轉向，由於液晶的光軸與其分子軸相當一致，由此產生光學效果，而如果我們將液晶一開始就適當的安排其排列方向，那麼當加於液晶的電場移除消失時，液晶分子會因為其本身的彈性及黏性，而十分迅速的回復原來未加電場前的狀態。 ??????????????? （A）未加電場前??????????? ???????????????? （B）加電場後 圖1 ?藉著電場作用造成液晶分子轉向，由此產生光學效果 LCD顯示器技術集合材料、光學、機械及電學等科技，在製程檢測方面，亦可見到各式各樣的作法[1-5]。目前液晶基本上皆是由人工合成，故在液晶分子的特性上可做較為理想的設計，而直接改善LCD顯示的品質。由圖2中可清楚看出LCD的顯示原理以及其基本架構。 ??? 電極OFF狀態 ?? 電極ON狀態 圖2? LCD的顯示原理以及其基本架構 近幾年由於電子產業與半導體科技的發展，液晶顯示器應用了液晶原理與半導體製程，在品質及價位方面都有長足的進步，在色彩呈現方面直逼CRT映像管，因此在近年來出現供不應求的跡象，1995年時還有供過於求的現象，到了1996年由於筆記型電腦與個人數位助理（PDA）需求量大增，因此開始廣為流行，從1997年以後許多液晶顯示器製造商訂單應接不瑕的情況看來，液晶顯示器已成為近年的顯示器主流。 LCD製造流程是以TN及STN製程為基礎，其全線為自動化生產流程，此生產線有一中央控制室可監控生產流程[6]，如圖3所示。概述如下： 圖3 LCD製造流程 1.裝片、清洗、塗佈光阻劑、曝光 製造液晶顯示器的主要原料為液晶、導電玻璃和偏光片。導電玻璃是在高品質的平板玻璃表面真空蒸鍍上一層ITO膜而成，亦即玻璃基板上面有具導電性的金屬氧化物薄膜。當整片含有ITO膜的玻璃基板進入生產線後，首先先清洗玻璃板，然後在將光阻劑塗佈在玻璃基板上，再利用客戶訂好的所需要的圖形，如下圖4的方式，將已塗佈光阻劑的玻璃基板加以曝光。 圖4 顯影.蝕刻.清洗 在曝光之後對已曝光之基板做顯影的工作，顯影過程中不需要的光阻膜將被去掉，而蝕刻時，所需要的圖形會被光阻膜保護不受到蝕刻，而藉此去除不需要的ITO膜。ITO膜蝕刻之後，將會作抽樣的顯微鏡檢查，以確定其蝕刻圖案之正確性。 2.塗佈配向膜 再次清洗基板後，即進行塗佈配向膜，配向膜塗佈時其配向方式是以棉刷依一定方向刷過，如圖5，配向膜可將液晶未加電場前分子做定位的工作，一般前後兩片LCD基板上的配向膜需互成九十度，藉此將液晶分子依序旋轉，如圖6 (A)(B)，另外也有以蒸鍍的方式配向，不過成本較高。 ?????????????????????? 圖5 .配向膜塗佈 圖6(A) .配向膜塗佈時前後基板配向膜差九十度 圖6(B)貼近基板之液晶分子順著配向槽排列 3.固膜、清洗、印框 配向膜固化後再次清洗基板，接著將對基板做印框，印膠框的目的是為了之後兩片基板將重疊貼合，而其內可注入液晶，如圖7(A)(B)為自動上膠框的情形。 ??????????????????????????????? 圖7(A) 上膠框的情形之一 ??????????????????????????????? 圖7(B) 上膠框的情形之二 圖8（A）為打上膠框後的形式，其中樹脂膠框範圍為LCD基板上每個液晶顯示器板最後裁割的單位，而基板四角公、母十字標線旁有墨點，是為了兩片LCD基板貼合時當作定位的標準（圖8（B））。 圖8（A）打上膠框後的形式 ???????? 圖8（B）墨點是為了兩片LCD基板貼合時當作定位的標準 4. 微細墊片（SPACERS）塗佈 圖9? SPACERS自動噴撒裝置 ??? 圖9為微細墊片自動噴撒裝置示意圖，而微細墊片的用意則是為了使兩片LCD基板組合後中間有足夠的空間灌入液晶。SPACERS在噴撒之後需作人工檢測，每一種不同型號之LCD基板都有一種特定的規格，而SPACERS在每1mm平方中需要60-180顆SPACERS，但人工檢測過於耗時以及效率過低，故目前可利用數位影像處理幫助人眼做自動檢測[5]，圖10為其自動檢測之