ITO镀膜教材.docVIP

ＬＣＤ簡介 ＩＴＯ玻璃 ２．１ ＩＴＯ玻璃簡介 ＩＴＯ玻璃製造流程 ＩＴＯ玻璃生產管理 切割及裂片作業說明 ３．１ 製程簡介 治具規格說明 製程操作說明及製程條件設定 機台故障排除ˋ停電處理程序 品質自主檢查 其它注意事項 磨邊及倒角作業說明 製程簡介 治具規格說明 製程條件 機台操作及故障排除 品質自主檢查 其它注意事項 清洗作業說明 製程簡介 洗淨配藥方法 製程條件 機台操作及故障排除 品質自主檢查 其它意事項  拋光作業說明 2.1拋光玻璃作業流程簡介 2.2拋光原理 2.3拋光玻璃之規格 機台簡介與製程條件設定 2.1拋光機台簡介 2.2製程條件設說明 拋光五大控制因素 3.1 P.P的管理 3.2 Pad的管理 3.3 template的管理 3.4研磨劑的管理 3.5振幅的管理 機台操作與拋光作業注意事項 4.1作業前之確認事項 4.2機台操作 4.3拋光作業注意事項 4.4破片處理程序 研磨劑測量及Pad修正 6.1研磨劑測量 6.2 Pad的修正 品質檢驗作業程序及標準 5.1抽檢作業 5.2品質檢驗作業 　前言 LCD簡介 ＬＣＤ：液晶螢幕顯示器(Liquid Crystal Display)。↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ─ ─ ─ ─ ─ ─ 玻璃基板： 一般ＴＮ／ＳＴＮ顯示器是使用鹼石灰玻璃作為基板，即俗稱的鈉玻璃。此平板玻璃是採用浮法方法製成，所以又稱浮法玻璃。所謂的浮法製程(Floating Process)就是熔融的玻璃抽出後先經過錫爐，然後回溫至室溫，此種方式產出的玻璃稱之為浮法玻璃。玻璃基板的一些特性，如表面凹凸、冷熱沖擊性、鈉離子釋出量．．等特性，對ＬＣＤ產品品質或製程加工性都有重要影響。 玻璃基板規格： 厚度： 一般為1.1mm、0.7mm、0.55、0.4、370*480。，，，；；? 200-300? 200-300? 平整度 － 0.2um/20mm 0.05um/20mm 波紋型 0.5um 0.3um 0.05um 翹曲度 100um 500um 500um 　ＩＴＯ玻璃 ＩＴＯ玻璃簡介 ＩＴＯ是 Indium Tin Oxide 三個字的縮寫，中文為氧化銦錫；ＩＴＯ玻璃是在清潔的絕緣素玻璃表面上，以真空鍍膜的方法依序鍍上ＳｉＯ２層(二氧化矽)及ＩＴＯ層(氧化銦錫)；ＳｉＯ２膜乃作為阻擋層，因玻璃基板中的鹼性成分會微量釋出，並滲入液晶中，進而造成液晶電阻率不降，另鈉離子會導電造成字肥現象，或使密封膠黏力下降等，故須先鍍上一層ＳｉＯ２做為阻隔。ＩＴＯ薄膜的特性是在可見光區具有高度的穿透性與極佳的導電性，非常商合作為ＬＣＤ顯示器的透明導電極。ＩＴＯ玻璃結構如下圖所示： ＩＴＯ膜的特性： 在常溫下具有良好的導性。 禁帶較寬，主要吸收在紫外光區，因而對可見光有良好的透過率。 ＩＴＯ膜耐鹼不耐酸，用鹽酸和硝酸的混合液極易蝕刻。 ＩＴＯ導電膜愈厚，則面阻抗值愈低；穿透率郤會因膜厚不同而有極小值和極大值，膜厚約在1370?處會出現穿透率的極大值。 ＩＴＯ膜在顏色上的區分： １００Ω：無色 ８０Ω：無色 ３０Ω：淡黃色 １０Ω：紫色 ＩＴＯ玻璃的應用： ＩＴＯ導電玻璃的應用範圍很廣泛，雖然在製作方法上有所差異，但都是作為顯示器的透明電極用，而顯示器應用於下游產業更是不勝枚舉，以表說明其應用範圍： 產品面阻值 產 品 類 別 應 用 範 圍 300~40Ω／sq. 多用於ＴＮ型ＬＣＤ，尤其是字型符號和小型點陣ＬＣＤ 電子手錶、鬧鐘 掌上型計算機 家用電器上的ＬＣＤ顥示器 儀表顯示 電子帳簿 攜帶型遊戲機 太陽能電池 40~15Ω／sq. 多用於ＳＴＮ型ＬＣＤ，可製作小型或大型點陣ＬＣＤ 膝上型電腦 攝影機 小型液晶彩色電視機 筆記型電腦 10Ω以下／sq. 多用於大面積ＳＴＮ型ＬＣＤ，以及其它平面顯示器 ＰＤＰ ＥＬ ＥＣＤ 膝上型電腦 筆記型電腦 液晶彩色電視 導航顯示 ＩＴＯ玻璃製造流程： ＳＴＮ流程 ＴＮ流程 將大片玻璃切割成300X350mm尺寸 將切割完之玻璃倒角，並清除所產生之微粒 ＳＴＮ產品之玻璃表面須經過研磨處理 以高精密洗淨法完全洗淨玻璃 於真空系統內，依序鍍上SiO2與ITO膜 檢查並記錄產品之穿透率及阻抗特性 檢驗合格之產品以包裝機包裝 切割及裂片作業說明 ３．１　製程簡介 開　箱：利用拔釘器及氣動工將木箱、釘子及螺絲鬆開 素玻璃：拿取素玻璃置於切割平台 切　割：利用鎢鋼刀輪將由國外買入之浮法玻璃用切割機切割成所需之尺寸，如購入之素玻璃尺寸為1225*1075， 依玻璃尺寸可分為： ３００＊３５０ｍｍ ３００＊４００ｍｍ ３７０＊４８０ｍｍ 依玻璃厚度可分為： １．