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第八课 电容式 电感式传感器及其他 8.1 电容式传感器 两平行极板电容器的电容由下式得出 （8-1） 这里，为空气的介电常数8.854*10F/m 为极板间介质的相对介电常数 A为极板的遮盖面积或有效面积（） 为极板将的距离（） 电容量随着相对介电常数、截面面积A或者极板间的距离的变化而变化。电容式传感器的一些例子如图8.1所示。 图8.2中的特征曲线表明，在空间的一段范围内截面面积A和相对介电常数的变化与电容量的变化呈线性关系。 通过对方程（8-1）微分，我们能得出灵敏度（单位是F/s）。 即 因此，对于值微小的变化，灵敏度是很高的。 不像电位器，变极距型电容传感器有无限的分辨率，这最适合测量微小的位移增量的位移。 例8.1 平板电容器的有效截面面积为，极板距离1mm，如果空气的相对介电常数是1.0006，求设备的位移灵敏度。 对式（8-1）， 求导得： 负号表示随着极距增大电容减小。 8.2 电容式传感器 缠绕在磁路上的线圈的电感为 （8-3） 式中，为真空磁导率，为相对磁导率，N为线圈匝数，为磁路长度（m），A为磁路的截面积（）。 上式也可写为 （8-4） 其中，S为电感电路的总磁阻。 电感可通过改变电感电路的阻抗来调节。变阻式传感器的一些例子如图8.3（a），8.3（b），8.3（c）所示。 电感传感器的一些特征曲线如图8.4所示。 例8.2 分别求在（a）相对磁导率变化（b）磁路长度变化条件下，单线圈电感传感器的灵敏度。 a)对式（8-3）中的进行微分 b)对（8-3）中的进行微分 电容式和电感式传感器的测量技术： 用差分式电容或电感作为交流电桥； 用交流电位计电路做动态测量； 用直流电路为电容器提供正比于容值变化的电压； 采用调频法，C或者L随着振荡电路频率的变化而变化。 电容式和电感式传感器的一些重要特征如下： i)分辨率无限； ii)精确到满量程的; iii)位移范围从到； iv）上升的时间小于； 典型的被测量是位移、压力、震动量、声音和液位。 8.3 线性调压器 典型的调压器如图8.5所示，它由一主线圈、两个副线圈和可移动的磁心构成。 高频励磁电压作用于主线圈，由于变压器作用在线圈副边产生电压和。副线圈的幅值取决于主、副线圈的电磁耦合以及铁心偏移量。 由于副线圈串行反向连接，变压器铁心的偏移量使增大的同时，减小。理想条件下，电压和的相位差应该是，以便中心位置的输出电压为零。但是，一般两电压的相位差不是确切的，而是有一小的无效输出电压，如图8.6（b）所示。 线性调压器的一些重要特征如下： 无限分辨率； 线性度优于； 励磁频率50Hz到20kHz； 无效电压小于满量程输出电压的； 最大偏移频率为励磁频率的； 位移范围从到； 运动部件无磨损； 调幅输出，即输出电压为幅值随位移输入变化、频率恒定的波形。 典型的被测量为可被转化为位移的量，如压力、加速度、振动、作用力以及液位。 8.4 压电式传感器 当在某晶体材料上施加一个力时，负极的电荷就会在压电效应下出现（压电源于希腊语的“压”）。压电式传感器由天然晶体（如石英、酒石酸钾钠晶体）、合成晶体（如硫化锂）或极化陶瓷（如钛酸钡）构成。由于这些材料能够产生一个与施加力成比例的输出电荷，所以它们不仅最适宜测量力本身，还可测量驱动力变量（如压力、负载和加速度）。 压电材料是很好的绝缘体。因此与其连接的金属板共同构成平板电容器，如图8.7（a）所示。当施加一力时，电容器在压电效应下充电，如图8.7（b）所示的等效电路。遗憾的是，任何与电容器C连接的电子测量仪常常会放电，即传感器的稳态效应很糟糕。这可用带有被称为充电放大器的高输入阻抗（）的测量放大器克服此缺陷，但会使得测量系统费用增高。 例8.3 一压电压力传感器的灵敏度为80pC/bar。如果其电容为1nF，则当输入电压为1.4bar时，就可确定输出电压。 电荷q= 输出电压V= 8.5 电磁式传感器 电磁式传感器利用线圈在磁场中移动产生电流的原理制成。电磁式传感器的输出电压如下所示。 a)对于变磁通的线圈而言 输出电压 这里，N为线圈匝数，为磁通变化率（Wb/s）。 b)对于在磁场中运动的单个导体而言 输出电压 式中，B为磁通强度（T），为导体长度（m），为垂直于磁通方向的导体的速度（m/s）. 两等式均运用于市场上常用的速度传感器，其构造原理图如图8.8（a），8.8（b），8.8(c)所示。 电磁式传感器的一些重要特征如下： 输出电压与输入运动速度成正比； 通常质量