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一、光栅 光栅分为物理光栅和计量光栅两大类。检测直线位移的称为直线光栅，检测角度位移的称为圆光栅；根据光电元件感光方式不同，可将光栅分为玻璃透射式光栅和金属反射式光栅。 直线玻璃透射式光栅和金属反射式光栅检测装置分别如图所示。 透射式光栅检测装置 反射式光栅检测装置 玻璃透射式光栅是在透明的光学玻璃表面制成感光涂层或金属镀膜，经过涂敷，蚀刻等工艺制成间隔相等的透明与不透明线纹，线纹的间距和宽度相等并与运动方向垂直，线纹之间的间距称为栅距。常用的线纹密度为25条/㎜、50条/㎜、100条/㎜、250条/㎜。条数越多，光栅的分辨率越高。 圆光栅是在玻璃圆盘的圆环端面上，制成透光与不透光相间的条纹，条纹呈辐射状，相互间的夹角相等。 直线透射式光栅 1. 组成 由标尺光栅和光栅读数头两部分组成，光栅读数头包括光源、透镜、光电元件、指示光栅等。如图所示。 标尺光栅和指示光栅也可称为长光栅和短光栅，它们的线纹密度相等。长光栅可安装在机床的固定部件上（如机床床身），其长度应等于工作台的全行程；短光栅长度较短，随光栅读数头安装在机床的移动部件上。 光栅位置检测装置的组成 1—光源 2—透镜 3—标尺光栅4—指示光栅 5—光电元件 2. 工作原理 在测量时，长短两光栅尺面相互平行地重叠在一起，并保持0.01至0.1mm的间隙，指示光栅相对标尺光栅在自身平面内旋转一个微小的角度θ。当光线平行照射光栅时，由于光的透射和衍射效应，在与两光栅线纹夹角θ的平分线相垂直的方向上，会出现明暗交替、间隔相等的粗条纹——莫尔条纹，如图所示。 莫尔条纹形成原理 两条暗带或明带之间的距离称为莫尔条纹的间距B，若光栅的栅距为W，则 因为θ很小，则 由此可见，莫尔条纹的间距与光栅的栅距成正比。 莫尔条纹具有如下特点： 由上式可知，莫尔条纹的间距B是光栅栅距W的1/θ，由于θ很小（小于10′），故B＞＞W，即莫尔条纹具有放大作用。例如，当栅距为W=0.01㎜，θ=0.001rad时，莫尔条纹的间距B=10㎜。因此，不需要经过复杂的光学系统，就能把光栅的栅距转换成放大了1000倍的莫尔条纹的宽度，从而大大简化了电子放大线路，这是光栅技术独有的特点。 （2）起均化误差作用 莫尔条纹由若干线纹组成，若光电元件接受长度为10㎜，当W=0.01㎜时， 10㎜宽的莫尔条纹就由1000条线纹组成，因此，制造上的间距误差（或缺陷），只会影响千分之几的光电效果。所以，莫尔条纹测量长度时，决定其精度的不是一条线纹，而是一组线纹的平均效应。 （3）莫尔条纹的变化规律 长短两光栅相对移动一个栅距W，莫尔条纹移动一个条纹间距B，即光栅某一固定点的光强按明→暗→明规律交替变化一次。光电元件只要读出移动的莫尔条纹条纹数，就知道光栅移动了多少栅距，从而也就知道了运动部件的准确位移量。 3. 光栅的辨向与信号处理 在移动过程中，经过光栅的光线，其光强呈正（余）弦函数变化，反映莫尔条纹的移动的光信号由光电元件接收转换成近似正（余）弦函数的电压信号，然后经信号处理装置整形、放大及微分处理后，即可输出与检测位移成比例的脉冲信号。为了既能计数，又能判别工作台移动的方向，如图所示的光栅用了4个光电元件。每个光电元件相距四分之一栅距（W/4）。当指示光栅相对标尺光栅移动时，莫尔条纹通过各个光电元件的时间不一样，光电元件的电信号虽然波形一样，但相位相差1/4周期。根据各光电元件输出信号的相位关系，就可确定指示光栅移动的方向。 光栅的特点 1. 有很高的检测精度。现在光栅的精度可达微米级，再经细分电路可以达到0.1微米。 2. 响应速度较快，可实现动态测量，易于实现检测及数据处理的自动化控制。 3. 对使用环境要求高，怕油污、灰尘及振动。 4. 由于标尺光栅一般较长，故安装、维护困难，成本高。 二、旋转变压器 旋转变压器属于电磁式的位置检测传感器，是一种控制用的微电机，在结构上与二相线绕式异步电动机相似，由定子和转子组成。定子绕组为变压器的原边，转子绕组为变压器的副边。励磁电压接到定子绕组上，其频率通常为400HZ、500 HZ、1000 HZ及 5000 HZ，转子绕组输出感应电压，输出电压随被测角位移的变化而变化。 如图是旋转变压器工作原理图。 旋转变压器工作原理 当励磁电压U1加在定子绕组上时，通过电磁耦合，在转子中产生感应电压。转子的位置不同，产生的感应电压值也不同，如图所示。如果转子绕组与定子绕组互相垂直，即转子的偏转角为零时，则转子绕组感应电压为零；如果转子转到与定子绕组平行时，即偏转角θ=90°时，转子绕组中的感应电动势最大，其值为 e = K U1 = K Umsin(ωt) 如果转子自垂直位置偏转了一个角度θ时，转子绕组中产生的感应电动势为 e = K U1sinθ= K U