3章电容式传感器.ppt

电容式涡街流量传感器 MICROTRAK 9000 纳米级超高精度电容式传感器 习 题 第四章2、7题（p132） 图4-10 电容式传感器的等效电路 由等效电路可知，它有一个谐振频率，通常为几十兆赫。 当工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。因此，工作频率应该选择低于谐振频率，否则电容传感器不能正常工作。 传感元件的有效电容Ce可由下式求得(为了计算方便，忽略Rs和Rp): (4-27) 在这种情况下，电容的实际相对变化量为 (4-28) 式(4-28)表明电容式传感器的实际相对变化量与传感器的固有电感L的角频率ω有关。 因此，在实际应用时必须与标定的条件相同。 4.4 电容式传感器的测量电路 4.4.1 调频电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分, 当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。虽然可将频率作为测量系统的输出量，用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正，因此必须加入鉴频器，将频率的变化转换为电压振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。调频式测量电路原理框图如图4-11所示。 图中调频振荡器的振荡频率为 (4-29) 式中： L——振荡回路的电感； C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，其中C1为振荡回路固有电容, C2为传感器引线分布电容, Cx=C0±ΔC为传感器的电容。 图4-11 调频式测量电路原理框图 当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C0，所以振荡器有一个固有频率f0, 其表示式为 (4-30) 当被测信号不为0时，ΔC≠0， 振荡器频率有相应变化， 此时频率为 (4-31) 调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强，可以发送、 接收，以达到遥测遥控的目的。 4.4.2 运算放大器式电路 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很高, 运算放大器的这一特点可以作为电容式传感器的比较理想的测量电路。图4-12是运算放大器式电路原理图, 图中Cx为电容式传感器电容；Ui是交流电源电压; Uo是输出信号电压; Σ是虚地点。 由运算放大器工作原理可得 . . (4-32) 如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d，代入式(4-32)，可得 (4-33) 式中“-”号表示输出电压Uo的相位与电源电压反相。式（4-33）说明运算放大器的输出电压与极板间距离d成线性关系。 运算放大器式电路虽解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，但要求Zi及放大倍数足够大。为保证仪器精度， 还要求电源电压Ui的幅值和固定电容C值稳定。 . . 图4-12 运算放大器式电路原理图 4.4.3 二极管双T形交流电桥 图4-13是二极管双T形交流电桥电路原理图。e是高频电源， 它提供了幅值为U的对称方波，VD1、VD2为特性完全相同的两只二极管，固定电阻R1=R2=R，C1、C2为传感器的两个差动电容。 图4-13 二极管双T形交流电桥 当传感器没有输入时，C1=C2。其电路工作原理如下：当e为正半周时，二极管VD1导通、VD2截止，于是电容C1充电，其等效电路如图4-13（b）所示；在随后负半周出现时，电容C1上的电荷通过电阻R1，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I1。当e为负半周时，VD2导通、VD1截止，则电容C2充电，其等效电路如图4-13（c）所示；在随后出现正半周时， C2通过电阻R2，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I2 。根据上面所给的条件，则电流I1=I2，且方向相反，在一个周期内流过RL的平均电流为零。 若传感器输入不为0，则C1≠C2, I1≠I2, 此时在一个周期内通过RL上的平均电流不为零， 因此产生输出电压，输出电压在一个周期内平均值为 （4-34） 式中, f为电源频率。 当RL已知，式（4-34）中 则式(4-34)可改写为 （4-35） 从式（4-35）可知，输出电压Uo不仅与电源电压幅值和频率有关，而且与T形网络中的电容C1和C2的差值有关。当电源电压确定后，输出电压Uo是电容C1和C2的函数。该电路输出电压较高，当电源频率为1.3 MHz，电源电压U=46V时，电容在-7~7 pF变化，可以在1MΩ负载上得到-5~5V的直流输出电压。电路的灵敏度