4电容式.pptVIP

5 电容式传感器 5.1 电容传感器的工作原理及类型 一、基本工作原理(平行板电容器) 二、类型 5.2　电容式传感器的灵敏度及非线性 一、输出特性（变极距型） 二、灵敏度 电容变化与引起该变化的可动部件的机械位移变化之比 三、减小非线性误差措施 5.3　电容传感器的特点及等效电路 一、特点 二、等效电路 5.4　电容式传感器的测量电路 电容式接近开关在物位测量控制中的使用 * * * 电容式传感器是将被测非电量转换成电容量变化的一种传感器。结构简单，可实现非接触测量。可以用来测量压力、力、位移、振动、液位等参数。 但电容式传感器存在泄漏电阻和非线性等缺点给它的应用带来一定的局限。 电容量C + _ d A 平行板电容器 电力线 当平行板的间距d 远小于平行板的尺寸（半径、长和宽等）时，对精度要求不是特别严格的条件下，边缘效应即可忽略。 ε、A、d都直接影响着电容量C的大小。如果保持其中两个参数不变，而使另外一个参数改变，则电容量就将发生变化。 1、变极距型电容式传感器 测量微小线位移，可测微米级的位移 ΔC与Δd成非线性关系。 2、变面积型电容传感器 测量角位移或较大线位移 ΔC与ΔA成线性关系。 3、变介电常数型 测量液体高度，还可测量温度、湿度等等 这种电容可以看成是CA、CB两个电容的并联。设板极宽度为b 则： C与位移x 成线性关系。 电容初始值为C0，当极板有一个增量Δd时，电容为 若Δdd0。则；即只有比值?d/d0很小时才可认为是接近线性关系，这就意味着使用这种形式传感器时，被测量范围不应太大 Δd/d0 C 1 C0 不过零点 对于平板变极距线位移传感器灵敏度为： 对于平板变面积线位移传感器灵敏度为：Δc／Δl =εb／a 1、增大极板间的初始距离d0，以保证比值?d/d0不致过大。但会带来灵敏度下降的缺点，同时也使电容传感器的初始值减小，寄生电容的干扰作用将增加。 2、常采用差动式电容传感器 动板极 定板极 差动电容传感器 忽略高次非线性项灵敏度为： 差动结构提高了灵敏度，并且减小了非线性误差。 优点： ①温度稳定性好；②结构简单、适应性强；③动态响应好；④可以实现非接触测量，具有平均效应 缺点： ①输出阻抗高，负载能力差；②寄生电容影响大；③输出特性非线性 1、Rp――并联损耗电阻，它代表极板间的泄漏电阻和介质损耗。Rp在低频时影响较大，频率升高，容抗减小Rp影响减弱。 2、R――串联损耗电阻，包括引线电阻、电容器支架及极板的电阻。 3、L――由电容器本身电感效应和外部引线电感组成。 4、谐振频率――通常几十兆赫兹，工作频率接近或等于谐振频率时，破坏了电容正常工作，应避开谐振频率 5、CP――A、B两端的寄生电容。 6、传感元件的有效电容C 一、调频电路 利用参数调频法，把电容式传感器作为振荡回路的一部分。当输入量使电容发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化，通过鉴频电路将频率f 的变化转为振幅的变化。 可将频率作为输出量用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正，因此必须加入鉴频器，将频率的变化转换为电压振幅的变化。 二、交流电桥电路 1、普通交流电桥：C为电容传感器的电容，Z’为等效配接阻抗，C0和Z分别为固定电容和阻抗。 2、紧耦合电感臂电桥 该电路的特点是两个电感臂相互为紧耦合，它的优点是抗干扰能力强，稳定性高。 3、变压器式电桥： 在变压器输入阻抗极大的情况下，输出电压与位移呈线性关系。 三、双T型电桥 u为方波电压源，提供幅值为U 的对称方波。C1、C2为差动电容传感器（也可以是一个为固定电容，另一个为电容传感器）；RL为负载，R1、R2为固定电阻。 当u为正半周时，此时，u对C1充电，C1能很快充满电。同时经R1以I1向RL供电，另外，电容C2经R2、RL放电，放电电流为I2（t）。 当u在负半周时，与正半周时相类似。若C1＝C2，R1＝R2＝R，则流经负载的电流在正半周与负半周的大小相同、极性相反，故一个周期电流经RL的平均电流为0，RL上无信号输出。若C1或C2变化时，在负载电阻RL上产生的平均电流将不为零，因而有信号输出。此时输出电压值为 设初始态为Q＝1，则A点高电位，对C1充电，M点电位上升，直到M点电位略高于基准电压Ur，则N1输出负脉冲；另一方面，B点低电位，C2通过D2放电，由于D2正向电阻很小，故放电很快，C2放电时只要VN略小于Ur ，则N2输出正脉冲。这样N1为负脉冲，而N2为正脉冲。 四、脉宽调制电