教案项目电容式传感器.docVIP

3.2电容式传感器 3.2.1电容式传感器的工作原理 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为 当被测参数变化使得S、d或ε发生变化时，电容量C也随之变化。 如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介电常数型三种。 1．变间隙型电容传感器 变间隙式电容式传感器 当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，初始电容量C0为 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有 在式中，若Δd/d01时，则展成级数： 此时C与Δd近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性关系。 另外，在d0较小时，对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、 塑料膜等）作介质,如图所示，此时电容C变为： 式中：εg—云母的相对介电常数，εg=7； ε0—空气的介电常数，ε0=1； d0—空气隙厚度； dg—云母片的厚度。 放置云母片的电容器 云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气仅为3 kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。  一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20~100pF之间， 极板间距离在25~200μm 的范围内。最大位移应小于间距的1/10， 故在微位移测量中应用最广。 2．变面积式电容传感器 被测量通过动极板移动引起两极板有效覆盖面积S改变，从而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿长度方向平移Δx时，则电容变化量为 式中C0=ε0εr ba/d为初始电容。电容相对变化量为 这种形式的传感器其电容量C与水平位移Δx呈线性关系 直线位移型电容传感器原理图 3．变介质式电容式传感器 此时变换器电容值为： 电容式液位变换器结构原理图 式中： C0——由变换器的基本尺寸决定的初始电容值, 即 可见：此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。 3.2.2．电容式传感器的测量电路 1．运算放大器电路 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很高, 运算放大器的这一特点可以作为电容式传感器的比较理想的测量电路。如图所示。由运算放大器工作原理可得： 如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d，代入，可得 式中“－”号表示输出电压Uo的相位与电源电压反相。可见运算放大器的输出电压与极板间距离d成线性关系。 运算放大器式电路虽解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，注意条件：要求Zi及放大倍数足够大。为保证仪器精度，还要求电源电压Ui的幅值和固定电容C值稳定。 运算放大器式电路原理图 2．二极管双T交流电桥 e是高频电源， 它提供了幅值为U的对称方波，VD1、VD2为特性完全相同的两只二极管，固定电阻R1=R2=R，C1、C2为传感器的两个差动电容。 二极管双T交流电桥 当传感器没有输入时，C1=C2。 电路工作原理：当e为正半周时，二极管VD1导通、VD2截止，于是电容C1充电，其等效电路如图（b）所示；在随后负半周出现时，电容C1上的电荷通过电阻R1，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I1。 当e为负半周时，VD2导通、VD1截止，则电容C2充电，其等效电路如图（c）所示；在随后出现正半周时， C2通过电阻R2，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I2 。 电流I1=I2，且方向相反，在一个周期内流过RL的平均电流为零。 若传感器输入不为0，则C1≠C2, I1≠I2, 此时在一个周期内通过RL上的平均电流不为零， 因此产生输出电压，输出电压在一个周期内平均值为 式中, f为电源频率。 当RL已知，式中 则上式可改写为 可知，输出电压Uo不仅与电源电压幅值和频率有关，而且与T形网络中的电容C1和C2的差值有关。当电源电压确定后，输出电压Uo是电容C1和C2的函数。电路的灵敏度与电源电压幅值和频率有关，故输入电源要求稳定。 3．调频电路 把电容式传感器作为振