第四章 电容式传感器n.ppt

第4章 电容式传感器 电容式传感器是把被测量的变化转换成电容量变化的一种传感器。 电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大到用于压力、差压、液位、物位或成分含量等方面的测量。 第4章 电容式传感器 电容式传感器的优点：①功率小、阻抗高；②静电引力小、动态特性良好；③和电阻式传感器相比，电容式传感器本身发热影响小；④可进行非接触测量；⑤结构简单，适应性强，可以在温度变化比较大或具有各种辐射的恶劣环境中工作。 电容式传感器的缺点：①输出具有非线性；②寄生电容的影响往往降低传感器的灵敏度。 第4章 电容式传感器 4.1 电容式传感器的工作原理和结构 4.2 电容式传感器的主要特性 4.3 电容式传感器的测量电路 4.4 影响精度的因素及提高的措施 4.5 容栅式传感器 4.6 应用举例 4.1 电容式传感器的工作原理和结构 1.工作原理 如图所示，由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为： 1.工作原理 由式（4.1）可知，当d、A和εr中任一个或某几个参数有变化时，就改变了电容C。因此电容式传感器分为三种类型： ①变极距型：极板相对覆盖面积A和介电常数εr不变，改变极距d。可用于测