低损耗乐甫波传感器的实验的研究.pdfVIP

超声学 低损耗乐甫波传感器的实验研究 程利娜 刘明华 李红浪何世堂 中国科学院声学研究所声学微机电实验室 摘要本文采用单相单向叉指换能器(SPUDT)降低乐甫波传感器的双向损耗，并从实验方面 研究了SPUDT结构反射中心位置对器件损耗的影响。乐甫波传感器的多层波导结构改变了常 播，从而使传感器损耗变大。本文通过调整反射栅的位置，来改变反射中心和换能中心的间距 L，通过实验的方法分析L对损耗的影响，得到了间距L与器件损耗之间的关系。本文实验基 能中心间距L的增大，器件中心频率处的损耗从20．2dB减小到12．5dB；器件的单向性能得到 改善。 关键词乐甫波传感器单相单向结构损耗 O．引 言 声波传感器的种类很多，其中乐甫波传感器因具有损耗小、灵敏度高等优点受 到广泛的关注…。电极宽度控制单相单向结构(EWC／SPUDT)能有效减小换能器 的双向损耗，通常用于声表面波滤波器的设计[2、3]o因此乐甫波传感器与EWC／ SPUDT结构相结合，在实现更低损耗的传感器上颇具潜力。 当EWC／SPUDT的结构(周期内电极宽度、指间距等)变化时，反射系数和换能 系数的大小、相位均会发生变化，影响EWC／SPUDT的单向性。对于无波导层结构 的EWC／SPUDT，相应的耦合模参数已经有成熟的理论方法计算(4J。但是，当乐甫 波传感器采用EWC／SPUDT设计时，其多层波导膜结构使相应的耦合模参数分析 非常复杂。目前，还没有出现针对采用单相单向结构的乐甫波传感器反射系数和 换能系数的大小、相位进行理论计算的相关文献。 本文采用实验的方法，通过调整EWC／SPUDT结构中反射电极的位置，对单相 单向结构的乐甫波传感器进行研究，探索降低乐甫波传感器损耗的可行方法。 1．实验设计 1．1实验设计原理 常用的EWC／SPUDT有一种标准结构，如图l所示。其换能器周期为A；周期 内反射栅宽度为A／4，其它电极宽度为A／8；反射中心和换能中心间距￡为3A／8o 119 中国科学院声学研究所第三届青年学术交流会论文榘 』l畸刳{r剧他“ ■■ (a)难向 (b)厦向 阳2 sPUI)T结构的声寝面波器件响＆的实验结果 乐甫波传感器的输入输i¨换能器如果采用常规结构EWC／SPUDT(I为3A／ 8)，其幅度响应如图3所示。通带内不平坦，在中心频率附近下陷，没有实现纯单 向传播；ri,心频率处器什损耗为一164dB，没有实现低损耗。 赢 ——— b 一 ln √ n 、 ＼f ’ I 目3常规Ew口sPllY[结构乐甫诚嚣件的频率响＆ 超声学 当EWC／SPUDT结构中反射中心和换能中心间距L发生改变时，直接改变反 射声波在传播过程中的延迟相位0，进而影响该结构乐甫波传感器件单向性。因 此，在乐甫波SPUDT结构的理论分析存在困难的情况下，通过调整反射中心和换 能中心间距L大小的实验分析方法，可以实现对低损耗乐甫波器件的研究。 1．2 采用EWC／SPUDT的乐甫波传感器设计 根据1．1节的分析，本文设计一种单波导层结构的乐甫波传感器，如图4。参 数如下：该乐甫波传感器基片材料为ST一90。x切割石英晶体，切向为(00，1320，