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　　　 　　　 　　　　　　　　 　　　　 　 3.1.1 阀门 蝶阀(英文：butterfly valve)：蝶阀又叫翻板阀,是一种结构简单的调节阀，同时也可用于低压管道介质的开关控制。是指关闭件(阀瓣或蝶板)为圆盘，围绕阀轴旋转来达到开启与关闭的一种阀，在管道上主要起切断和节流用。 蝶阀 溢流阀（RELIEF VALVE ）：一种液压压力控制阀。在液压设备中主要起定压溢流作用和安全保护作用。 定压溢流作用：在定量泵节流调节系统中，定量泵提供的是恒定流量。当系统压力增大时，会使流量需求减小。 安全保护作用：系统正常工作时，阀门关闭。只有负载超过规定的极限（系统压力超过调定压力）时开启溢流，进行过载保护，使系统压力不再增加（通常使溢流阀的调定压力比系统最高工作压力高10%～20%）。 溢流阀 常闭气动球阀 常开隔膜气动阀 常闭隔膜气动阀 隔膜手动阀 手动球阀 常开气动球阀 3.1.1 阀门 3.1.1 阀门 气动三通球阀 减压阀 单向阀 减压阀或溢流阀 手动阀/针型阀/限流阀 手动三通球阀 3.1.1 阀门 常开气动蝶阀 常闭气动蝶阀 手动蝶阀 带保护功能的溢流阀 3.1.2 流量控制 浆式流量传感器 浮子流量计 通用流量计 筒式液体过滤器 3.1.3 泵 离心泵 薄膜真空泵 通用泵 隔膜泵 双介质泵 3.1.4 传感器及其它 流量计参数显示 压力传感器 加热器 垫片 电容传感器 3.2 RENA各工艺槽管路图（详见RENA电路图）3.2.1 制绒槽（HF+HNO3） 3.2.1 制绒槽（ HF+HNO3） 3.2.1 制绒槽（ HF+HNO3） 3.2.2 漂洗1及碱槽（KOH） 3.2.2 漂洗1及碱槽（KOH） 3.2.3 漂洗2 3.2.3 漂洗2 3.2.4 酸槽（HF+HCI） 3.2.4 酸槽（HF+HCI） 3.2.5 漂洗3 3.2.5 漂洗3 3.2.6 热风刀 ACD 3.2.6 热风刀 ACD 急停开关 接触开关 热继电器主、副触点 第四部分 RENA电路图4.1 电气控制电路简介 4.1.1 开关 急停开关 接触开关（行程开关） 热继电器主、副触点 第四部分 RENA电路图4.1 电路图部件标示 4.1.1 开关 4.1.1 开关 继电器（接触器）主触点 继电器线圈 马达开关 接近开关 压力开关 4.1.2 传感器 温度传感器 流量传感器 电容传感器 电感式传感器 温度传感器 电导率传感器 光传感器 4.1.3 电机 单相电机 三相电机 循环泵电机（热保护） 1.3.3 RENA主界面详细说明 各添加桶状态 冷水机状态 储液箱状态 储液箱进口温度 储液箱设定温度 储液箱实际温度 冷水机内自来水的电导率 集中供液是否READY 机器内化学品排放是否READY 1.3.4 RENA手动模式状态详解1）刻蚀槽界面 RENA刻蚀槽界面介绍 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 PT FILLING DI----储液槽加纯水 PT FILLING CHEMIE----储液槽加化学药品 SYSTERM RINSING----整个系统(包括外槽内槽储液槽)用纯水清洗 SYSTERM DRAINING----整个系统排液 BATH CHANGE----刻蚀槽储液槽排空,再重新配液 START MAIN FUNCTION----在手动模式下单个槽运行工艺 RINSE BATH START----开始用纯水不断清洗(只有在槽内加满纯水后次按键才有作用) RINSE BATH STOP----纯水清洗结束 FILL BATH----给刻蚀槽加化学药品(如果储液槽内是纯水则加的是纯水) DRAIN BATH----刻蚀槽排液 RENA刻蚀槽功能 第一次配槽的设定体积 实际加入的体积 未加入的体积(点击上图的REST REMAIN VOL.可以清零） 流量 2）RENISE1界面 RENISE1功能 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水（RENISE１的水是RENISE２槽的水溢流过来的） DRAINING----整个槽排液 START PROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺 STOP----结束操作 RENISE 1槽的状态 3）RENA碱槽界面 碱槽功能 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水 FILLING CHEMIE----加化学药品（初始配槽） RINSING----用纯水清洗 DRAINING----整个槽排液 START C