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一台5kW／2450MHz微波等离子体系统的研制 季天仁刘华鄢阳黎饶云 (电子科技丈学高能所) 成都610054 摘要： 加工系统．1：包括一台5聃高稳定计算机程控微波源，带智能销钉调配器的高性能微波传输系统，下注 式(Oownstreaw)微波反应腔，带多功能端口的等离子体放电腔，以及四路气体ⅪFc和相应的真空系统， 该系统主要喟于中等压强条件下商质量金刚石薄膜等多种材料的化学气相沉积(CVD)，表面消慌翻改 性等多种用途．经初步试用系统性能良好 i．引言 作勾微波等离子体CVD实验加工系统．国外从九十年代中期以来已开始从实验室研究走向了 般F注式微波等离子体到各种类型的电子回旋共振(EcR)等离子体．主要用途除金刚石等多种材料 的CVD外，尚用于半导体芯片的刻蚀，宽柬离子源等．然而，国外设备依然十分昂贵．从美国著名的 ASTeX公司的最新报价：一台5i(ff／2450删zCVD系统^x6350：38万美元．国内这些年来，研究规摸 和水平已获得十分迅速的发展，但是，由于缺乏先进完善的实验加工设备，CVD工艺技在高质量薄膜 和沉积速率方丽与国外先进水平相比尚有根大差距．我们发挥多年研制商稳定系列微波源和子系 统的优势以及与许多院所最好合作的基础，学习国外阿类系统的先进技术，针对用户新的具体要求， 研制出了这台高性能的MPCVD实验加工系统．希望以此为基础为我国运～领域的产业化发展傲点 贡献． 2．系统设计 MPS一2(1s0C是参考鼠外一些同类机型，针对我国用户的具体要求设计和研制的一台多用途、商 稳定中等压强MPCVD综台宴验和加工设备．系统几个主要部分如禺．1框图所看；。原理结构和功 能示于图-2。其主要特点如下： 其微波功率0_5—5kW连续可调：稳定度高：优于±1％：控制性能好；内部单片机提供方便手动 程控r电带RS一232标准串行接【l与通用386以卜计算机连接．实现屏幕菜单式程序控制；采用 了-先进的碰托管灯趁醉雎跟踪技术，无电容电感滤波的高精度电压反馈调整稳定技术；采埘丁宽 ——182—— 善的线路安全闭锁控制系统，使该系统工作寿命长，电气性能优良，安全可靠，操作简单方便。 2) 咿G一2052C微波源智能锗钉调匣器攘式变换器 且 箫晶嘲 萨声8亘脚…雠 Ⅲ@j 丌 ’I：：!；堂二f等着于体敲电腔和谆s ‘ }J 碰≯一 真空驻樽和测量系境 高额偏压择 直瀛偏压掉 翱、 摹片翩控坦 样∞盘凳谴节 。嚣g ：}商 总拒制电撵 (固一2)MPs一2052C功能结构圈 2)．系统采用了由高性能微波环行器，智能销钉调配器，带反射波取样的水负载以及外部连接波导 组成的优良微波传输系统(图一1)。它确保反射波对磁控管的良好隔离，使之稳定工作，又能在等离 子体负载大范尉变化时(VSWR=I．j～30)能方便地调节擐佳匹配，达到微波助率的最佳传输，并通 过反射波取样．以数字最示反射功率大小和实时工作状态。特别是”智