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三、洗泵换油与清理电磁阀 * 三、洗泵换油与清理电磁阀 * 关 开 四、过滤罐清扫 自动停炉3.5小时，关闭主泵。打开放气阀，（逆时针为打开，顺时针为关闭，如图）使主真空管道充气到大气压，清扫过滤罐: * 四、过滤罐清扫 * 四、过滤罐清扫 * 四、过滤罐清扫 * 热场部件归位及安装流程：碳碳底部保温材料 →炉底护盘→电极石 英护套和石墨护 套→托杆护套→下保温筒→碳碳中部部保温材料→护盘压片→导气筒→电极→反射板调节螺丝（与加热器下沿4公分）→反射板→加热器→电极螺栓→电极螺栓护盖→护板→主保温石墨保温筒→主保温筒外部保温层→托杆→托杆上盘→石墨坩埚→支撑板→上保温→下保温板→环→上盖板（碳碳材料）→上保温板→顶环→导流筒 安装 热场三要素：同心、同轴、水平。 装热场顺口溜： 底保底护极英墨，轴护筒中压片坐， 导电调节莫量错，器螺栓上护板卧， 保温层杆上盘埚，板温板环碳板垛， 上板环筒不要过。 五、装热场 * 五、装热场 * 中部保温材料 下保温材料 五、装热场 * 护盘压片和导气筒 电极 反射板调节螺丝 测水平 测与下保温材料距离45-50mm 放石墨纸 五、装热场 * 装加热器螺丝 测与加热器的对中 五、装热场 * 测加热器电阻 测石墨坩埚与加热器水平 五、装热场 * 上保温支撑板 装上保温材料 取光孔的对准 五、装热场 * 下保温板 环 上盖板 上保温板 顶环 原厚度 现厚度 1）石墨坩埚有无裂纹及破损 2）石墨坩埚使用炉数 3）石墨坩埚壁厚是否均匀 注意：装石墨坩埚前检查其质量 五、装热场 * 装料前对石英坩埚质量的检查： 石英坩埚的检查中常见问题 1）坩埚内表面，不允许有开口的无光泽杂质点 2）壁厚中，不允许有直径2.5mm以上的的杂质点或闭口气泡 3）石英坩埚底部不允许,有直径大于30mm的凹坑和凸坑。 4）不允许有明显划痕，裂纹. 具体判断参照《石英坩埚检查标准》 具体操作参考《石英坩埚检查表》 六、装料 * 装料注意点： 1）原料，石英坩埚为高纯材料，禁止用手触摸。接触原料，石英坩埚的一次性PE手套不要接触炉体，石墨热场等。 2）合金放底部侧面，然后碎料铺底至石英坩埚底部弧度结束。 3）在装料到石英坩埚2/3以上，保证原料与石英坩埚点接触。原料重心向内。 具体操作参照《装料作业指导书》 六、装料 * * 笔记 * * 笔记 * * 晶体拆清基础教程 □拆炉 □清炉 □洗泵换油与清理电磁阀 □过滤罐清扫 □装热场 □装料 一、拆炉 1、炉体充气 * 副真空泵气动阀关闭 主真空泵气动阀关闭 上氩气气动阀开启 氩气快充阀阀开启 氩气流量值 一、拆炉 * 2、取单晶 一、拆炉 * 一、拆炉 * 拆清炉着装要求 净化服 隔热手套 安全鞋 胸卡 口罩 3、取热场 一、拆炉 * 序号 名称 单位 数量 备注 1 拆炉车 辆 3 2 吸尘装置 台 1 3 酒精 瓶 1 4 棕毛刷 只 1 5 砂纸 张 1 6 百洁布 块 2 7 纤维纸 张 30 8 电极螺丝扳手 把 1 9 高温隔热手套 副 2 10 线手套 副 2 11 一次性手套 袋 1 12 一次性口罩 个 2 13 活口扳手 把 2 14 取单晶筒 只 1 15 斜口钳 把 1 拆炉工具 一、拆炉 * 热场部件摆放： a． 取出的热场部件，按装配顺序摆放在拆炉车上。 b． 热场部件不允许相互堆叠放置，并且轻拿轻放。 取热场顺口溜： 环板碳碳环筒板，上保坩埚支撑板， 上盘托杆层筒板，盖螺加热反射板， 调节极筒不要反，压片中碳护套拣， 护盘碳碳底部板。 取热场流程：顶环→上保温板→上盖板（碳碳材料）→环→导流筒→下保温板→上保温筒→石墨坩埚→支撑板→托杆上盘→托杆→主保温筒外部保温层→主保温石墨保温筒→护板→电极螺栓护盖→电极螺栓→加热器→反射板→反射板调节螺丝→电极→导气筒→下保温筒→护盘压片→碳碳中部部保温材料→大轴护套→电极石英护套和石墨护套→炉底护盘→碳碳底部保温材料 一、拆炉 * 一、拆炉 * 上盖板 一、拆炉 * 下保温板 一、拆炉 * 支撑板 一、拆炉 * 一、拆炉 * 四个石墨电极 石英护套 一、拆炉 * 取导气筒 下保温材料 护盘压片 一、拆炉 * 中部保温材料 底部保温材料 1、清扫炉体内壁和热场 二、清炉 * 松 700mm 2、清扫上炉室内壁和打磨 二、清炉 * 3、管道清扫 二、清炉 * 确认泵油使用规定额定炉次（每六炉）并停炉后，关闭