CVD合成金刚石的沉积方法与检测手段.pdfVIP

CVD合成金刚石的沉积方法和检测手段 郑怀礼高杰+ (重庆建筑大学基础科学系，重庆，400045) (+重庆师范学院化学系，重庆，400047) 石的方法。如：热丝法、微波法、激光法、等离子炬、离 摘要本文既评述了化学气相沉积法(CVD)舍成 人造金刚石薄膜的主要沉积方法}也讨论了各种现代 子柬直流电弧等等。下面介绍和评述几种典型的等离 测试分析技术在CVD合成金刚石薄膜领域的应用 子体CVD沉积技术。 和作用；并展望了它们的发展趋势． 关键词人造金刚石化学气相沉积沉积方法 2．1热丝CVD法(HFCVD)t1 测试分析 1引言 丝(一般为钽或钨)上，由于热反应，古碳气体中的氢 分子分解。在HFCVD法中，衬底也被加热到大约 金剐石具有独特的光学、热学，声学、电学和机械 性能，是一种极具潜力的功能材料。与任何材料相比，