激光器镜面低剩余反射率镀膜.pdfVIP

激光器镜面低剩余反射率镀膜 李晓良周宁胡常炎王素琴 (武汉邮电科学研究院电信器件公司 邮编：430074) 摘要：本文分析了影响激光器镜面低剩余反射率镀膜的原因用常规的镀膜理论所计算的低 反射率膜层的条件在实际应用中没能达到预期的效果，主要原因是：1．镀膜基底折射率不是单 一的InP的折射率：2．激光器的输出为非平面光波，需用角谱分析法优化镀膜条件：3．材料的 选择和工艺的控制综合上述因素我们重新计算了低反射率膜层的条件并应用于发光管镀膜， 使输出功率提高了445％，此方法将应用于半导体光放大器和光纤光栅激光器等的低剩余反射 率镜面镀膜研制 一、引言 激光器镜面镀膜对光电子器件的发展、提高光电子器件的性能正在发挥着越来越重 要的作用．己成为制作光电子器件的关键工艺，镜面镀膜能对激光器镜面起到保护作用， 特别是大功率激光器，例如980IIm泵浦激光器，如果没有进行镜面镀膜保护的话，激光器 就很快退化而不能实用。镜面镀膜除了对激光器镜面起到保护作用外，还能根据不同的 器件特性，