高峰值功率KDP晶体四倍频266 nm外激光器.pdfVIP

第27卷第4期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．27，NO．4 2015年4月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Apr．，2015 高峰值功率KDP晶体四倍频266nm紫外激光器” 于 淼， 金光勇， 王 超 (长春理工大学理学院，吉林省固体激光技术与应用重点实验室，长春130022) 摘 要： 报道了一种灯泵浦结构的Nd：YAG晶体电光调Q高峰值功率266nm紫外激光器。结合磷酸 二氢钾(KDP)晶体性质，基于倍频理论，分析了考虑走离效应情况下存在相位失配量时KDP晶体长度对转换 1064 效率的影响。该激光器采用紧凑的平平腔结构，灯泵浦Nd：YAG晶体电光调Qnm激光作为基频光，腔 外采用Ⅱ类匹配磷酸钛氧钾(KTP)和I类匹配KDP分别作为二倍频和四倍频晶体。利用能量计、示波器等仪 器进行测量，激光器重复频率1Hz时，获得脉宽6．0 mJ的266 ns，单脉冲能量35 nm紫外激光输出，峰值功率 高达5．83Mw；当重复频率10Hz时，获得单脉冲能量28．9mJ的266nm紫外激光。532～266nm转换效率 最高可达31．9％。利用该高峰值功率、窄脉宽266nm紫外激光器，能够实现激光打标、激光雕刻。 关键词：高峰值功率；KDP晶体；电光调Q；单脉冲能量；转换效率 中图分类号：TN248．1 文献标志码： A doi：10．11884／HPLPB201527．041003 266 nm紫外激光器具有波长短、分辨率更高、能量更集中等优点，在高密度数据存储、医疗、环境监测等方 面具有很高的研究意义和价值[1]。高峰值功率激光输出成为继转换效率问题后又一受到人们的广泛关注的问 题。激光以高峰值功率输出并与物质相互作用时，就产生了一系列具有重大意义的新现象、新技术和新方法， 并且高能量密度的紫外激光在材料微加工中有特殊应用，能更有效地打断有机材料的化学键，形成“冷加工”效 用I类匹配YAI。(BOs)。晶体(简称YAB晶体)进行腔外四倍频，获得了峰值功率240kW的266nm紫外激 光，转换效率为12．2％。同年R．Bhandari等[5]，在重复频率1kHz下，得到峰值功率大于0．5MW、单脉冲能 量135一的266 100 kHz下，得到脉宽10ns、四倍频转换效率18．3％的266nm紫外激光14．8 W。2012年赵书云等E71采用三 腔外四倍频，获得266 nm准连续紫外激光输出，脉冲宽度22ns，重复频率为20kHz，平均功率1．12W，532～ 266 nm转换效率21．37％。目前国内外研究266 nm紫外激光器，大多数研究的都是峰值功率较低的连续和 高重频266 nm紫外激光器，其峰值功率仅为kW，对于低重频、窄脉冲、高峰值功率的266nm紫外激光研究甚 少‘…。 对266 nm紫外激光的获得，目前最直接的方法是对掺钕离子固体激光的近红外波(1064nm)进行腔内或 腔外频率转换，产生四次谐波凹1。本文研究了一种结构简单、性能稳定的高峰值功率脉冲四倍频紫外激光器， 离角，获得了高峰值功率的266nm紫外激光。 1 理论分析 非线性晶体的选取在紫外激光器中是一个很关键的因素，不仅对紫外激光输出能量有一定影响，而且对于 紫外输出的光束质量等都有一定程度的影响。所以选择合适的紫外非线性晶体是非常重要的。目前常用的四 但CI。BO晶体具有严重的潮解性，使用中需始终保持其密封加温的状态，不能满足紧凑的腔外倍频结构；BBO 晶体非线性系数相较CI。BO晶体和KDP晶体较大，但其接受角小，仅为0．17mrad·cm，所以对于绿光的光束 质量要求很高，而且走离角较大[1”111，而KDP晶体具有可获得尺寸大、抗损伤能力强