Precise直线加速器EP130S离子泵电源装置问题的探讨.pdfVIP

Vae 用表测量靶方向泵供电的装置上F1(T)4A(接线6．02，228Targ一4．97”。(在对装置维修时，用 号：L1、L3)和F2(F)250mA(接线号：11)的保完好的供电装置交替给二个离子泵供电，对加速器保 持在抽真空工作状态，以保持较好真空度。)然后， 险管，Fl是通的(好的)，F2是烧断(坏的)，高压 Vac 倍压整流没工作。 在屏幕的“228 Targ”参数值从“一4．97”开始慢 用交换法，把枪方向钛泵和靶方向钛泵的高压接 慢上升，由参数变化可知设备的真空度发生上升改 线对换，同时把他们的真空度检测电路接线“TBl— 变，在靶方向的真空正在恢复正常工作的最低条件； Restrictions 1、2”(接线号：7、8)也对换，在“View 继续观察可见代码“227”的参数慢慢变大，出现的 ／Inhibits／item 10—4 “239 T和241 Number”参数屏幕，出现：“239 10—4缸p 10—5乜pT”等一系列连锁参 10—5 Sel- 卸G和240 G”连锁参数，选跳到“Gun 数慢慢消失；设备可以出束，作一些调整后可进行治 tip Vac VO”的参数屏幕，显示：“227Gun一3．77，228疗。 Vac 3讨论 Targ一6．02”；显示的参数值也随对换而出现变 化，分析该现象可认为是负责靶方向泵加速管离子泵 从检查中得出的数据、参数变化情况和交换代替 高压供电装置(Ion PSU)烧坏。 法的现象分析可见，清楚故障主要发生在真空泵供电 Pump ASSY Ion 装置上。尤其于高压倍压整流PCB 从机架上把负责靶方向型号是“EPl30S Pump Power PStJ) 电路板上的D1一D12等整流二极管被击穿、阻值220 Supply”的钛泵高压供电装置(IonPump 卸下进行剖析。在维修手册，找出“Power cir- supply cuit 电装置内的T1变压器因后续电路发生问题致磁体发 diagram”，参照电路所示，用万用表测量供电装 热，温度上升使温度保险TRIP(串在标号11的连 置内的T1变压器上的温度保险TRIP(串接在标号11 线)也烧断，同时串在标号ll的连线上砣(F)250 ASSY路板上 的连线上)、倍压整流PCB mA保险管烧断；再次证实判断正确。 的D1一D12等整流二极管、阻值220K的R1一R24电 阻、C1～C12电容；可见大部分元件烧坏。 4结论 2结果 观察直线加速器出现的真空度下降的故障现象， 更换“EPl30SIon Power 首先考虑故障是否发生在真空泵供电装置上，利用交 Pump Supply”中T1变压