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微流量系统的基础技术研究——周兆英　叶雄英　李　勇等 微流量系统的基础技术研究 周兆英　叶雄英　李　勇　杨　岳　熊沈蜀 王晓浩　张文栋　才海男　龚秋莲 　　摘要　介绍了国家自然科学基金重点资助项目“微型机械制造基础理论及基础技术研究” 中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果, 并结合微流量系统研究分析了当前微型 机电系统发展的几个特点。微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基 础。国际上微型光机电系统技术刚走向全面发展, 正是我国发展该领域的好时机。 关键词　微型机电系统　微流量系统　微型泵　尺寸效应 中国图书资料分类法分类号　 38 TH 　　国家自然科学基金重点资助项目“微型机械 印、微型推进发动机等方面有大量应用需求, 发展 制造基础理论及基础技术研究”旨在研究微型机 前景很好。微流量控制系统的研究涉及基础器件、 械制造的基础理论及设计方法、加工工艺、必要的 设计制造技术