谐波齿轮减速器固体润滑膜的结构与摩擦磨损.pdfVIP

谐波齿轮减速器固体润滑膜的结构和摩擦磨损 牵光夏立芳马欣新孙跃李刘合于伟东 哈尔滨工业大粤：材抖科学与工程学院咯尔滨西大直衡92号150001 膜的成分分布，研究了不同表面改性层配对对谐波齿轮摩擦副运行寿命的影响．结果表明：谐波齿轮上制 鲁的多层膜为成分连续变化、无界面的复合改性层；在齿面较为租糙的谐波齿轮摩擦副上分别配以DLC基 和锃基多屡膜，可获得较高的运行寿命． 关键词 谐波齿轮类金刚石碳骥多层膜等离子体基离子注入 ’ 1 引 言 随着宇航技术的发展，谐波齿轮传动越来越受到人们的重视，谐波齿轮传动机构在真空 环境的固体润滑也成为其在宇航方面应用的主要研究课题。有文献表明【“，对谐波齿轮三大 件物理气相沉积MoS：基复合润滑膜，可提高谐波齿轮真空中的运行寿命．但MoS2膜硬度 低，易氧化变质，使其应用受到了～定限制。类金刚石碳膜具有高的硬度(HV3000 膜的制备方法、结构和性能作了大量研究。我们研究成功了用等离子体基离子注入(PBII) 结构及应用情况． 2试验方法 2．1试验材料及试验装置 该装置配有五个非平衡磁控靶，用于产生金属等离子体。 2．2试样的制各及分析 三套谐波齿轮采用不同的处理工艺：第一套谐波齿轮柔轮、刚轮和柔性轴承皆采用基体 离子注入氮+磁控溅射离子镀钛+复合离子注入钛、氮+复合离子注入钛、碳+高压脉冲辉光放 电DLC；第二套柔轮、柔性轴承工艺与上面相同，刚轮离子注入氮+磁控溅射离子镀钛+复 台离子注入钛、氮+银膜；第三套柔轮改变表层DLC膜的制备工艺，刚轮增加表层银膜的 厚度． 多层膜结构和成分通过PHI．5700型XPS分析仪测试，深度成分分析采用氩离子枪剽蚀， 3mmx3mm，分析区域直径为0Atom。 谐波齿轮三大件组装后在自制的真空台架试验机上进行真空模拟试验，工作真空度为 0．0002Pa，齿轮输入轴转速为75rlmin，输出轴载荷为20N·in．试验后对柔轮、刚轮的齿面 进行扫描电镜观察。 3试验结果与讨论 3．1固体润滑膜的结构 图1给出的是第二套谐波齿轮柔轮、刚轮的XPS深度成分分布曲线。可以看出，柔轮 140 表面固体润滑膜的基本结构为氮离子注入层_钛、氮混合层_钛、碳混合层‘÷碳层(经测试 较差，采用溅射等方法很难获得较厚镀层，等离子体基离子注入直接沉积于钢上的DLC在 载荷作用下也易剥落。这种多层膜的结构不但实现了成分的过渡，而且在界面处达到了成分 的混合，可大大提高膜基结合力，提高润滑膜的耐磨性。刚轮表面固体润滑膜的结构为氮离 子注入层_÷钛、氮混合层_银层，膜与膜之间也实现了界面成分的混合。 4。 lift ∞ 120 149 0 2fl 60 min Time，rain Sputter竹me Sputter (a)秉轮 (b)目Ⅱ轮 图1 固体润滑膜的成分深度分布曲线 3,2谐波齿轮固体润滑膜的真空摩擦磨损 图2给出了谐波齿轮减速器在真空台架试验中壳体温度随运转转数的变化曲线。三条曲 线都大致分为数段，温度的分段上升标志着润 滑膜中单层膜的破坏。三套谐波齿轮减速器的 运转寿命分别为2，3x105转、5．2x105转、9．2×105 U 转，这说明在该试验条件下柔轮刚轮表面皆为 o^ 型 DLC膜的摩擦副配对运行寿命大大低于DLC