新型高温湿度测试技术.pdfVIP

一中国《子^学每’98敏_略技柬学术年会论文集98车9月 … 丽型高温湿度测试技术 康达(成都)电子有限公司 张益康吴强 摘要：本文介绍一种新型高温湿度测试技术．该技术采用稳定氧化话固体电解质材料制作的界限电流式湿 度传感器作为感湿元件。通过测定水分子分解量的多少来测试环境湿度．该技术具有测试精度高，响应速 度快．重复性爵和测试温度范围宽辞特点．是一种能在loo℃～250℃高温环境测湿的理想测试技术． 关键词：氧化锆固体电解质界限电流式高温湿度传感器 一、前言 湿度的测量和控制在国民经济的许多领域都具有重要意义。目前，国内外已开发出种类 繁多的湿度传感器及测湿仪器，如由高分子材料制作的湿敏电阻、湿敏电容；由SnO，、7／0，、 V：0，等半导体材料制作的陶瓷湿敏元件；采用LiCI等固体电解质材料制作的露点式湿敏元 件等。上述各类湿度传感器一般都是利用感湿材料表面对水分子的物理吸附现象来实现对湿 度的测量。当环境温度超过100C时，感湿材料表面对水分子的吸附量将变得非常少(接近 物理吸附极限)而且由高分子等感湿材料制作的湿敏元件还存在着耐热性差以及在高温水蒸 气环境下出现性能劣化等问题，因而很难满足对高温环境下湿度测量的要求。 本文介绍一种新的高温湿度测试技术。该项技术采用一种由稳定氧化锆固体电解质材料 制作的界限电流式湿度传感器作为测湿元件。由于该元件本身具有优良的耐温性，并且是根 据测定水蒸气在分解电压条件下分解量的多少来测定环境气氛中的水蒸气舍垂，因此，该项 测湿技术不仅能测定常温环境下的湿度，而且成功地解决了100C以上高温环境下进行湿度 测量的技术难题。 二、高温湿度测试的基本原理 2、界限电流式湿度传感器的结构与工作原理 界限电流式湿度传感器的结构如图i所示，它是利用了二氧化锆氧泵作用原理进行工作 的，即利用了阴极一侧所形成的极小孔洞对流入气体的限制作用，在气氛中氧浓度一定时， 传感器的输出电流值不随外加电压的增加而增加，而达到某一恒定值，该恒定电流值称为在 该氧浓度下的界限电流值(如图2所示)。根据这一原理，将该传感器置于含有水蒸气的环 境中并进一步提高传感器工作电压(如1．6V)，就能测量到显著的第二界限电流值(如图3 所示)-第一界限电流值(1。)和第二界限电流值(12)分别与环境中的氧分压和含有水蒸气 的氧分压成比例，其在阴极和阳极上的微观反应机理如下： ·140· 阴极侧 02+4e‘一20!。 (1) H20+2e。一H2+O’ (2) 阳极侧 02。一l／20，+2e (3) 小幅 扩散孔 图J举限电泣式2rq涩度传感器结构图 困2界限电流与外加电压关东曲豉 按照传感器的气体扩散孔限制Ficks法则 在假定氧气和水蒸气扩散系数相等的情况 下，两个界限电流值可分别由下式表示： lnfl～垒1 ·“) 丑儿 、P ，。一4FDSP … zO)lIl(1一iP02)…………………．．(5) 12=-百4FDSP(1+一．PH R儿、 2Po，7、P 式中：F为法拉第常数： D为混合气体扩散系数； s为传感器扩散孔面积；P为混合气体总压强； P。为氧气分压强：PHjo为水蒸气分压强； R为气体常数： T是传感