BPSG膜的CVD方法.pdfVIP

维普资讯 作用：一方面是硫酸盐对氧化物 的碱性溶解和硫化作用 ；另 一 方面是NaC1在热腐蚀过程中所起的加速作用。一些研究工 3 结 论 作表明，NaC1主要是破坏合金表面早期形成 的氧化膜，使氧化 膜开裂剥落。金属在氧化过程中，表面形成了一层氧化膜 ，NaC1 1)在25％NaC1+75％Na2SO熔盐中850~C热腐蚀40h时， 可以直接与氧化物反应，也可以通过氧化膜中的缺陷到达合金 未渗铝的NiCrA1Y涂层表面生成以Cr：O 为主的氧化物，腐蚀 基体表面，与合金元素反应形成cl：，cl与合金元素作用生成金 50h后，涂层失去保护作用，生成了Ti、cr和Ni等混合氧化物。 属氯化物，而金属氯化物的饱和蒸气压非常大，很容易形成气态 2)渗铝NiCrA1Y涂层不仅消除了原涂层中孔隙等缺陷对 氯化物，当气态氯化物聚集到一定程度时，就会导致氧化膜开