CVD自支撑金刚石厚膜的氧化动力学研究.pdfVIP

维普资讯 第36卷 第4期 2007年8月 表面技术 V01．36 No．4 Aug．2007 SURFACE TECHNOLOGY CVD 自支撑金刚石厚膜的氧化动力学研究 刘敬明 ，吕反修 (1．北京市电加工研究所，北京 100083；2．北京科技大学材料科学与工程学院，北京 100083) [摘 要] 为了了解直流等离子喷射CVD 自支撑金刚石膜高温氧化机理，利用热失重的方法研究了金刚石膜在不同温度、不 同氧浓度条件下的氧化反应。结果表明：CVD金刚石膜氧化反应中的反应指数大约为0．63，氧化反应的激活能为220kJ／mol。通过 X—Ray和Raman分析可知，CVD金刚石膜的氧化经历3个过程：1)金刚石膜表面氢的解吸和氧的吸附；2)金刚石与氧发生化学反 应；3)金刚石氧化产物(CO、CO，)的解吸。