MOCVD法制备碳-氧化铝太阳能选择吸收涂层的研究.pdfVIP

MOCVD法制备碳一氧化铝太阳能选择吸收涂层的研究 侯玉芝，蒋利军，王树茂，郝雷，李岩 (北京有色金属研究总院能源材料与技术研究所，北京 100088) [摘 要] 目前，普遍采用射频溅射制备以氧化铝为介质基体的太阳能选择吸收涂层，但射频溅射成本高、效率低。以乙酰丙 酮铝为前驱体，采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方法，在不锈钢基体上制备碳．氧化铝太阳能选择吸收涂层，大大降低 了涂层成本。研究了载气成分、沉积时间对膜层成分和吸收率的影响。结果表明：在沉积温度为600~C、载气氧含量为3％、沉积时 间4h时获得了吸收率 为0．9l的涂层。 [关键词] 太阳能；选择吸收涂层；MOCVD；吸收率 [中图分类号】TQ637；TK511 [文献标识码】A [文章编号]1001—3660(2009)03—0010—03 StudyonPreparationofCarbon—aluminaSolarSelectiveCoatingbyM etal OrganicChemicalVaporDeposition