PECVD制备Al-Al2O3复合阻氢涂层的研究.pdfVIP

维普资讯 第37卷 第3期 2008年6月 表袁面回孜技术不 Vo1．37 No．3 Jun．2Oo8 SURFACE TECHNOLOGY 《工艺研究 i PECVD制备 AI-AI2o3复合阻氢涂层的研究 银陈。陈长安。张鹏程 (表面物理与化学国家重点实验室，四川 绵阳621700) [摘 要] 为了提高不锈钢的阻氢性能，利用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)技术在不锈钢表面上制备 了Al薄膜，经真 空热氧化处理(480℃)获得了Al—A10 复合薄膜。用表面分析手段 SEM,XRD、EDS和XPS对所制备涂层的表面形貌、相结构、表 面成分、表面元素的化学态进行 了分析，并对其进行 了阻氘性能研究。结果表 明：该技术能够获得均匀、致密复合薄膜；在低于 350U时，阻氘效果非常好 ，几乎没有渗透