磁控反应溅射沉积CrN薄膜的抗氧化性研究.pdfVIP

维普资讯 李钦虎等 磁控反应溅射沉积 CrN薄膜的抗氧化性研究 磁控反应溅射沉积 CrN薄膜的抗氧化性研究 李钦虎，王军 (扬州大学机械工程学院，江苏扬州 225009) [摘 要] 通过磁控反应溅射在H1模具钢表面沉积了CrN薄膜。用扫描 电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)观察了 试样的表面形貌，进行了物相分析 ，研究了CrN薄膜的抗氧化性能，讨论 了膜层的抗氧化行为和机制。结果表明：在500~C 以下．CrN膜层具有良好的抗氧化性，能大大提高基体的抗氧化性能。当温度超过600~C时，由于膜层产生剥落而失去使用 性能 。 [关键词] 磁控溅射；CrN薄膜；抗氧化性 [中图分类号]TG174．44 [文献标识码]A [文章编号]1001—3660(2005)06—0040—02 OxidationResistanceofMagnetronReactiveSputteringCrN Films