磁制冷材料表面保护膜附着性能的研究.pdfVIP

维普资讯 第34卷 第6期 表 面 技 术 Vo1．34 NO．6 2005年 l2月 SURFACE TECHNOLOGY Dec．2005 磁制冷材料表面保护膜附着性能的研究 郑小秋，吴卫，杨勇 (西华大学材料学院，四川 成都610039) [摘 要] 利用直流磁控溅射技术在 Gd基体上分别镀不锈钢和 Ti。用扫描电镜(SEM)、能谱仪、XPS对薄膜表 征，用引拉法测定了薄膜的附着强度。结果表明：采用溅射法在 Gd基体上镀膜表面质量好，膜基界面结合良好，附着强度 大(15MPa)。 [关键词] 磁控溅射；附着性；界面；磁制冷材料 [中图分类号]TG174．71；TB64