低介电常数绝缘介质α-SiCOF薄膜及其制备方法.pdfVIP

维普资讯 中金刚石粉的悬浮量分别为20、40、80rag／L，以达到改变复合镀 层中纳米金刚石含量的 目的，在规定的温度中进行 80min。当 其它条件相同，单一改变金刚石粉的含量时，在 20mg／L时，镀 件表面纳米颗粒很少 ，如图6所示，其细化晶粒和阻碍塑性变形 的作用未能发挥出来 J，复合层硬度和耐磨性的提高并不明 显。在40mg／L时，镀件表面较均匀地分布着纳米金刚石颗粒， 如图2所示。当为80mg／L时，复合镀层 中明显有纳米颗粒团 聚的现象，如图7所示 ，导致其与基质金属结合强度下降，从而 使复合膜层的脆性增大，耐磨性能降低，磨损时有明显脱落现象。 图8 载荷为 19．6N时复合膜刻痕形貌 Fiug re8Themoprholoyg of compositefilm underaload19．6N