加热处理的SiC—C涂层注H%5e＋前后表面形貌及其Si分布的研究.pdfVIP

第38卷 第1期 2009年2月 表面技术 V0L38 No．1 Feb．2009 SURFACE TECHNoLoGY 加热处理的 SiC—C涂层注 H 前后表面形貌及其 Si分布 的研究 杜 良 ，曾俊辉 ，张东 ，杜纪富 ，杨淑勤 ，任丁 ，刘宁 ，黄宁康 (I．中国工程物理研究院核物理与化学研究所，四川 绵阳 621900； 2．四川大学 720所辐射物理 与技术教育部重点实验室，四川 成都 610064) [摘 要] 为了提高放射性废物包装用的不锈铜材料的阻氚性能，采用离子束混合技术在不锈钢表面沉积低 z材料的SiC—C 涂层，对 50％SiC—C涂层进行不同条件的加热处理以及随后进行的剂量为 1x10 ／cmH 的注入，研究涂层微观结构的变化，该研 究为涂层的实际使用提供科学依据 、研究结果表明：离子柬混合沉积在不锈钢基体上的50％SiC—C涂层经加热处理后会发生涂层 元素的扩散迁移。随着加热温度的提高，发生颗粒凝聚晶化现 象；氢离子注入会产生非晶化效应，同时导致涂层元素 si