溅射装置及其驱动方法以及使用该装置制造基板的方法.pdfVIP

在试验过程中我们发现 ，在这种配比的电解液中陶瓷膜的厚度 增加可以持续很长时问，能生成很厚的陶瓷膜 ，可以充分考察氧 化时间的影响)。所得试验结果见表 l。 表 1 陶瓷膜硬度、厚度、致密层的比例与氧化时间的关系 Table1Relationshipbetweencoatingcharacteristicandoxidationtime 试 件 1 2 3 4 5 6 氧化时间／h 1 2 3 4 5 6 陶瓷膜总厚度 ／Ixm 125 220 380 495 510 505 图7 致密层比率与氧化时间的关系曲线 致密层硬度HV 989 1387 1469 1503 1534 1547 Figure7Relationshipbetweencompactlayerratioandoxidationtime 致密层所占比例 ／％ 79．5 66．1 60．3 58．4 57．5 58．6 匀。 图5为陶瓷膜厚度与氧化时间关系曲线。试验过程中，前 2)在相同氧化时间内，随着电流密度的增加