通过激光烧蚀沉积薄膜.pdfVIP

维普资讯 第36卷 第2期 2007年4月 表蘧技术 VOL36 No．2 ADr．2007 SURFACE TECHNOLOGY 续致密的蘑菇状的SEM图是保温后依然完好的氢渗透阻挡层 反应 ： 形貌。由文献[5]、[6]可知，在电镀热处理后的阻挡层中，铬以 1 CO2=CO+÷02 (1) 单质和Cr，O 形式存在。造成图1中阻挡层表面有开裂和脱落 厶 同时 CO分解释放出碳 ： 现象的原因有可能是应力释放和碳化。 2CO=C+CO2