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微波等离子体改性对金刚石薄膜表面亲水性的影响 安晓明，苟立，何琨，冉均国 (四川大学无机材料系，四JII成都 610065) [摘 要] 采用微波等离子体法，分别使用H和0等离子体对金刚石薄膜表面进行改性处理：通过扫描电子显微镜 (SEM)， 原子力显微镜(AFM)，x射线光电子能谱 (xPs)，并结合接触角随时间变化的曲线，初步评价了改性前后薄膜表面显微结构和成分 的变化对亲水性的影响。结果表明：同一奈件下制备的金刚石薄膜表面形貌、粗糙度差异不会影响表面亲水性；改性前金刚石薄膜 亲水性差，H、O等离子体改性后薄膜表面接触角由原来的81。下降到20。以下，形成了亲水性 良好的表面；暴露在空气中后，接触角 在前3天的变化很大，这种变化与薄膜表面成分的改变密切相关 [关键词] 金刚石薄膜；改性；微波等离子体；接触角；亲水性 [中图分类号]TGI74．444 [文献标识码]A [文章编号]1001—3660(2009)Ol一0014—03 EffeceofM icrowavePlasmaM odificationon