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维普资讯 李德 良等 乙醇胺碱性蚀铜液的研究 乙醇胺碱性蚀铜液的研究 李德良 ，王丹 ，罗洁 ，龙丽娟 ，彭芸 ， (1．中南林业科技大学环境工程研究所，湖南 长沙 410004； 2．长沙意贯环保高新技术有限公司，湖南 长沙 410008) [摘 要] 为了开发一种新型碱性蚀刻液以代替传统的氨类蚀刻液，该蚀刻液的组成特点是以铜一乙醇胺络合物、氯离子和碱 性pH缓冲液作为主要成分。分别采用静态吊片蚀刻法和动态喷淋蚀刻研究方法探索了其最佳配方和操作条件，结果表明在铜离 子浓度为 85～95 L，氯离子浓度3．5～4．5mol／L，乙醇胺浓度4．5～5mol／L，添加剂浓度O．5—1．5g／L，pH为 8．5—9．0，操作温度 为55～6O℃时，其蚀刻状态最佳，相应的静态和动态蚀刻速率分别达6txm／min和 20txm／min，与氨类蚀刻液的对