偏压对电弧离子镀CrNx薄膜结构和机械性能的影响.pdfVIP

维普资讯 杨娟等 偏压对电弧离子镀CrN 薄膜结构和机械性能的影响 偏压对 电弧离子镀 CrN 薄膜结构和机械性能的影响 杨娟，聂朝胤 ，陈志谦，谢红梅 ，文晓霞，卢春灿 (西南大学材料科学与工程学院，重庆400715) [摘 要] 采用电弧离子镀技术在不锈钢基体表面制备了CrN 薄膜，并采用场发射扫描电镜、x射线衍射仪 、显微硬度仪、球一 盘式摩擦磨损试验机等手段对在不同偏压下沉积的CrN 薄膜的表面形貌、相结构、显微硬度和摩擦学性能进行考察。结果表明：随 着偏压的增加，CrN 薄膜沉积率下降，厚度降低，CrN 薄膜表面颗粒逐渐变少，表面粗糙度降低，结晶度增大，晶粒尺寸增加 ；CrN 薄膜由Cr2N相和CrN相组成，薄膜的择优取向发生较大变化。当偏压为一IOOV时，CrN 薄膜的表面结构最致密，硬度最高，抗磨损 性能最强。 [关键词] CrN 薄膜；表面形貌；相结构 ；显微硬度；耐磨性 ；电弧离子镀 ；不锈铜；偏压