单晶硅的电解电火花铣削加工工艺研究.pdfVIP

设计 ·研 究 《电加工与模具)2o13年第5期 单晶硅的电解电火花铣削力D-I-T艺研究 吕传伟，谷 安，李明义，吴俊杰 (南京航空航天大学机 电学院，江苏南京 210016) 摘要：提出了一种电解电火花铣削加工半导体硅材料的方法，对单晶硅片进行 电解 电火花铣 削加工实验。在不同电参数和不同铣削轨迹重叠率的条件下进行加工实验，分析二者对电解电火 花铣削硅材料表面质量的影响。实验结果表明：脉冲能量越高，表面质量越差；工具电极运动轨迹 重叠率越高，表面质量越好。 关键词：电解电火花加工；铣削加工；单晶硅 ；工具轨迹重叠率；脉冲能量 中图分类号 ：TG661 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X(2013)05—0027—03 ResearchontheMachiningProcessofMonocrystallineSiliconby Electrochemic