激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究.pdfVIP

特 辑 《电加工与模具}2010年第1期 激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究 江 一，汪 炜，刘正埙，何铁军，彭 昀 (南京航空航天大学机电学院．江苏南京 210016) 摘要：随着微机 电系统(MEMS)技术的发展 ，近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外 研究的热点。虽然光刻 电解加工结合了光刻技 术和 电解加工两者的优点，可实现高效、高精度金属 微细群孔加工。但 由于钛及钛合金表面极 易钝化 ，常规 电解加工难度很大。采用有机 电解液有效 地解决了加工过程中的表面钝化问题。此外，为克服 电解加工过程 中产物难以排 出造成的腐蚀不 均匀等难题，进行了激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究，在厚 100ptm纯钛薄板上进行了群 孔加工，平均孔径为37lm，材料蚀除速率达到 35 m／min。实验结果表明，通过激波产生的瞬时 压力扰动 ，能显著改善极间状态，有效提 高加工稳定性和表面质量 ，尺寸一致性好。 关键词：激波；光刻 电解；钛 ；微细群孑L 中图分类号 ：TG662