进电方式对P型硅极间电阻影响的试验研究.pdfVIP

《电加工与模具)2009年第5期 设计 ·研究 进 电方式对 P型硅极间电阻影响的试验研究 毕 勇，刘志东，邱明波，汪 炜，田宗军，胡燕伟，黄因慧 (南京航空航天大学机电学院，江苏南京 210016) 摘要：研究了不同进 电方式条件下P型硅极间电阻的变化特征 ，并从进 电有效接触面积的角 度对其进行分析。通过对电阻率4．7Q·cm 的P型硅进行放 电切割 ，获取的单脉冲放 电电压、电流 波形验证 了试验分析的正确性。结果表明，面进 电方式下P型硅 的极间电阻最小，且进 电有效接 触 面积越 大 ，P型硅 的极 间 电阻就越 小 ，放 电切 割 电流 就越 大。 关键词：进 电方式；放电切割 ；极间电阻；硅 中图分类号：TG661 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X[2009)05—0010—04 ExperimentalResearchOfInflHenceonInterelectrodeResistanceof P