三维微结构微细电火花和电解组合加工实验研究.pdfVIP

《电加工与模具)2010年第2期 设 计 ·研 究 三维微结构微细 电火花和 电解组合加工实验研究 胡满红，李 勇，佟 浩，马晓宇 (清华大学精密仪器与机械学系，北京 100084) 摘要 ：提 出一种微三维结构的微细 电火花和微细 电化学组合加 工工艺，利用三维伺服扫描微 细电火花加工快速去除三维型腔材料和微细电解铣削加工形成高精度和高质量三维型腔轮廓表面 的互补优势，实现三维微结构的高效率和高精度加工。该组合加工工艺可在 同一台微细电加工装 置上进行。以在 四方体型腔 内形成设计尺寸为 400p．m×400肚m×180ptm 四棱柱结构的加工为 例 ，实验加工出尺寸为 410 m×406 m×181btm 的四棱柱结构 ，加工材料的去除速度分别为微细 电火花加工31182 m ／S，微细电解加工 11017 m ／S，得到 了加工效率和加工精度的优化组合。 关键词 ：微三维结构加工 ；组合加工工艺 ；伺服扫描微细电火花加工 ；微细电解铣削加工