等离子体浸没离子注入改善45钢的摩擦学性能.pdfVIP

维普资讯 维普资讯 84 材 料 热 处 理 学 报 第 2h5卷 表2 45钢的不同PHI处理参数 Table2 TheparametersofPHItechnologyusedfor45steel 2 结果分析与讨论 2．1 表面层中元素的浓度分布 图1给出了表面层 中各元素含量随氩离子刻蚀 深度的变化曲线。可以看出，氮在试样表面层中呈类 高斯分布，但曲线明显被展宽；随着刻蚀深度的增加 ， 铁的含量逐渐增多，至 360nm时达到了84％；氧的浓 度则先增加而后逐渐减少 ；碳在表面的含量最高可达 到55．6％，但随着刻蚀深度 的增加，其含量急剧下 降，至40nm时，只有9．6％。 2．2 显微硬度 图2为不同PIII情况下试样表面显微硬度与注 入电压和注入剂量之 间的关系。从 图2(a)可 以看 出，随着注入电压的增加 ，显微硬度增加 ，两种条件下