高质量自支撑CVD金刚石膜的氧化行为.pdfVIP

维普资讯 第28卷 第2期 材 料 热 处 理 学 报 Vo1．28 No ．2 2007年 4月 TRANSACTIONSOFMATERIALSANDHEATTREATMENT April 2007 高质量 自支撑 CVD金刚石膜的氧化行为 刘敬明 ， 吕反修 (1．北京市电加工研究所 ，北京 100083； 2．北京科技大学 ，北京 100083) 摘 要 ：研究了气体循环模式下的直流等离子体喷射 CVD自支撑高质量金刚石厚膜高温氧化行为。结果表明，金刚石膜在大约 650~C开始氧化，氧化速度随着温度的升高而快速增加 ；高温氧化将导致金刚石膜的力学 、光学和热学性能的下降，多晶金刚石膜 晶界的优先氧化损伤是造成其综合性能下降的主要原因。高质量 的 自支撑金刚石膜不适合在空气 中700~C以上长时间工作 ，但 在 800℃以下短时间(3rain内)工作是安全 的。 关键词 ：氧化 ； 高质量 自支撑金刚石膜 ； 直流 电弧等离子体喷射 中图分类号 ：TB3