离子注入辅助Al2O3陶瓷表面化学镀镀层特性研究.pdfVIP

维普资讯 第29卷 第2期 材 料 热 处 理 学 报 V01．29 No ．2 2008年 4月 TRANSACTIONSOFMATERIALSAND HEATTREATMENT April 2008 离子注入辅助 Al2o3陶瓷表面化学镀镀层特性研究 王晓虹， 孙 智， 王德奎， 刘 明 (中国矿业大学材料科学与工程学院，江苏 徐州 221116) 摘 要 ：用金属离子源在 96AIO 陶瓷表面注入不同能量和剂量 的Ni离子 ，然后在镀液 中进行化学镀铜 。用扫描 电镜 、卢瑟福 背散射能谱和 x光电子能谱技术对注入层和镀层进行分析研究。结果表明： 离子注入可作为一种新的活化工艺，辅助 A1，O 陶瓷化学镀铜 ；注入参数对后续化学镀覆有显著影响，注入获得表面 Ni浓度高