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RF MEMS开关： 实践 思考 清华大学微电子学研究所 刘泽文 2013.4 纲 要 一 RF MEMS开关简史：兴趣和目标 二 RF MEMS开关应用：市场和机遇 三 RF MEMS开关技术：创新与优势 四 RF MEMS开关产业化：讨论与总结 纲 要 一 RF MEMS开关简史：兴趣和目标 二 RF MEMS开关市场和主要产品 三 IMETU RF MEMS开关研究进展 四 RF MEMS开关产业化：讨论与总结 一、RF MEMS开关简史：兴趣和目标 一、RF MEMS开关简史：兴趣和目标  1979年，IBM研发 中心的K. E. Petersen 首先提出并制作RF MEMS开关 “ A new class of electronic devices, micromechanical membrane switches, has been developed. These switches have operating characteristics that fill the gap between conventional silicon transistors and mechanical electromagnetic relays. “ K. E. Petersen, Micromechanical Membrane Switches on Silicon. IBM J. Res. 1979,23(4):376-385. 一、RF MEMS开关简史：兴趣和目标 1948年，贝尔实验室的威廉·肖克利(William Shockley) 发明晶体管 1958年前后，材料的压阻效应得到广泛的研究，提出了利用压阻效应 制作应力和加速度传感器 1973 硅压力传感器：Miniature pressure transducers with a silicon diaphragm, Gieles, A.C.M. (Philips Res. Lab., Eindhoven, Netherlands); 1978: 喷墨打印头：SILICON CHARGE ELECTRODE ARRAY FOR INK JET PRINTING. Kuhn, Lawrence; Bassous, Ernest; Lane, Ramon Source: IEEE Transactions on Electron Devices （1978） 1979：FABRICATION OF AN INTEGRATED, PLANAR SILICON INK- JET STRUCTURE. Petersen, Kurt E. IEEE Transactions on Electron Devices, 1946年2月14 日，世界上第一 台电脑ENIAC在美国宾夕法尼 亚大学诞生。 ENIAC-Electronic Numerical Integrator and Calculator， 这部机器使用了18800个真空 管，占地90平方米，重达30吨。 它的计算速度是每秒5000次的