溅射NiCrAlY涂层氧化过程Al2O3膜结构与形貌的转变.pdfVIP

维普资讯 腐蚀科学与防护技术 Vo1 第 14卷 第 3期 ． 14No．3 2002年 5月 CORROSION SCIENCEAND PROTECTION TECHNOL0GY May．2002 溅射 NiCrAIY涂层氧化过程 Al2o3膜结构与形貌的转变 李美短 孙晓峰 张重远 胡望宇 管恒荣 胡壮麒 (1．中国科学院金属研究所 沈 阳 110016；2 湖南大学材料科学与工程学院 长沙 410082) 摘要 对溅射NiCrAIY涂层进行 了900C，IO00~C．1l00C空气中高温氧化。实验表明，氧化初期生成快速长大的 亚稳态0一Ab 相．随着氧化时间延长，0一At2 逐渐转变成n—Alz ．氧化动力学抛物线常数k。也随之下降。B —n—AI203相变速度与温度有关．温度越高．相变越快。对静层进行真空热处理可促进 日一a—AI20转变，使涂层 表面快速形成保护性能优异 的a—Ab 。 关键词 溅射NiCrAIY涂层 高温氧化 相变 真空热处理 中图分类号 文献标识码 A 文章编号 1002—6495(2002)030142．05 PHASEAND MORPHOLOGY TRANSFORMATION OF AI2o3 DURING oXIDATIoN oF SPUTrERED N rAlY COATINGS llMelheng．SUN Xiaofeng ．ZHANG Zhongyuan ．HU W angyu2，GUAN Hengmng HU Zhuangqi ． (1．InstituteofMetalResearch．TheChineseAcademyofSciences．Shenyang110016； 2．College MaterialsS~enceandEnginee~ing．HunanUniversity．Changsha410082) ABSTRACT TheisothermaloxidationofsputteredNiCrA1Y coatingswasperformedinairat900℃ ． 100C and1100~C ．Transientalumina0一A1203，withfastgrowingrate，wasformde onthesurfaceof thecoatingsintheinitialstageofoxidation．W ithoxidationtimeincreasing．0一A12O，transformedinto a—A1203。andhencetheparabolicrateconstantdecreased．rrhehigherthetemperature．thefasterthe transfomr ationof0一A1203intoⅡ一A1203．A pre—heattreatmentofthesputteredNiCrAlY coatingsin vacuum canacceleratethetransfomr ationof0一AI20，intoa—A1203，andtherewiththeprotectiveⅡ一 A1203scaleisfomr edI／lOre rapidlyonthesurfaceof thecoatings． KEY W ORDS sputteredNiCrAIY coating．hightemperatureoxidation，pha