溅射NiCrAl微晶涂层的氧化行为.pdfVIP

维普资讯 第10卷第4期 腐蚀科学与防护技术 v。1．10N。4 1998年 7月 CORROSION SCIENCEAND PROTECTION TECHNOLOGY July1998 溅射NiCrA!微 高唯刘堡 王福会。 - - — _ 一 _ _ ● _ 一 ’ (臭克兰大学化工与材料工程系 新西兰) (*中国科学院盘属腐蚀与防护研究所盘属腐蚀与防护国家重点实验室沈阳110015) 摘 要 研究了氪气压力对溅射Ni一20Cr一2AI涂层晶粒尺寸及其抗氧化性能的影响．结果表明，随 氩气压力的降低涂层的晶粒尺寸减小，当氩气压力降至067Pa时．涂层晶粒直径约为 65Jim，该 涂层在 1000c空气中可以形成单一的氧化铝膜，从而太大提高合盘的抗氧化性能． 茎学科分类类号TNGiI74．4蛆4 ’良‘l ’…．‘稿 ¨ 晶 合金的抗氧化性能不仅与合金的成分有关 ，而且与合金的晶粒大小也有很大关系． 涂 Giggens等…研究Ni—cr二元合金氧化时发现，当cr含量低于 30wt ．晶粒尺寸为40 虐 ～ 140um时，cr：O。只在合金的晶界处形成，远离晶界处则形成NiO；而通过喷丸处理使合 的 金表面晶粒尺寸细化至 10um后，900℃可 以形成以crO 为主含少量 NiCrzO．的氧化膜． Huber等 用机械合金化方法获得了晶粒尺寸为 1～5 m含 YO 的 IN738细晶合金 ，在 氧 900℃燃气热腐蚀条件下，形成AlO 为主的氧化膜 ，而同成分粗晶合金则形成以crO。为主 化 的氧化膜．此后，用快速凝固0 、溅射 等方法获得细晶材料，研究了晶粒细化对不锈钢 行 氧化及混合气氛腐蚀 的影响，得到了相同的结果．最近，在微晶化对镍基高温合金抗氧化性 能的影响方面为做了大量工作，取得了很多令人感兴趣的结果 ．但微晶状态下晶粒尺寸如 何影响材料的抗氧化性能未见报道．本文拟对此问题进行研究． 1实验方法 溅射靶材与基体合金样品成分 Table 1Sp~tteringparametersandcorresponding 相 同，为Ni一20Cr一2A](wt )(设计 grain size0fthecoatings 名义成分)．溅射参数与涂层的晶 粒尺寸如表 1所列．为保证涂层均 匀 ，样 品在靶前旋转．涂层厚度 7 ～ 14pm．．氧化实验在 1000C空气 中进行 ，温度控制精度士1℃，采 用间歇称重法测量样品的增重，共 憧到初稿 ：199708—26，收到修改稿 ：1997—09—10 维普资讯 4期 高 唯等：溅射 NiCrA[傲 晶涂层的氧化行为 氧化 95h．氧化后的样品经金相、扫描 电镜及X射线衍射等方法进行分析 2实验结果 图1是氩气压力分别为 0．67和4．0Pa时涂层表面的原子力显微镜照片．可见，氩气压 力为0．67Pa时涂层晶粒 比4．0Pa时明显细化．涂层的晶粒尺寸、溅射速率与溅射参数之间 的关系如表1所列，结果与ArnellE溅射cu时得到的晶粒尺寸与氩气压力近乎直线关系略 有差别． Fig．1AFM morphologyofsputteredcoatings．(a)coatingC1and (b)C3 图2是样品 1000~C氧化动力学曲线． 可见，两种大晶粒的微晶涂层 (C2，C3)与 】_O 铸态合金的氧化动力学没有多大差别．而 当晶粒尺寸为 65nm(C1)时，氧化增重明 札 8 显低于铸态合金及大 晶粒微晶涂层． x射线衍射结果表明，铸合金氧化后 ；叭 表面形成C