钌系厚膜电阻重烧变化特性的研究.pdfVIP

2013年 2月 Feb．2013 第 34卷第 1期 V_01．34．No．1 钌系厚膜电阻重烧变化特性的研究 罗 慧，李世鸿 ，刘寄松，金勿毁 (昆明贵金属研究所 稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106) 摘 要：采用高温熔融．水淬法制备玻璃相，固相法制备导电相 Bi2Ru2O7、CaRuO3和 BaRuO ，水 浴溶解法制备有机载体，配制成电阻浆料后印制成电阻，经烘干、烧结后测算其重烧变化率。研究 了玻璃组成中硼硅比例 B203／siO2、混合玻璃粉比例以及导电相对重烧变化率的影响。提出了改善 电阻重烧变化率的几种办法。制备出的几种电阻浆料重烧变化率较小，可满足使用要求。 关键词：复合材料；厚膜电阻；RuO2；CaRuO3；BaRuO3；重烧变化率 中图分类号：TG146．38 文献标识码：A 文章编号：1004．0676(2013)01．0033．05 ResearchontheChangeofResistanceofRetiredRu--basedThick--film Resistors LUOHui，LIShihong ，LIU Jisong，JINWuhui (StateKeyLaboratoryofAdvancedTechnologiesforComprehensiveUtilizationofPlatinumMetals， KunmingInstituteofPreciousMetals，Kunming650106，China) Abstract：Six glasspowderswerepreparedbyconventionalmelting—quenching method．Conducting phasesBi2Ru207，CaRuO3andBaRuO3werepreparedthroughsolid-phasereaction．Theorganicmatter wasalsopreparedbydissolution．Thus，aseriesofthick—filmpasteswereformedbymixtureofconducting phases，glasspowderandorganicmatter．Thepasteswereprintedon96％ A1203substratestoform resistorsandthendriedandfired．Thechangeofresistancevaluesofeachresistorafterretiringwere measuredandcalculated．TheinfluencesofB203／SiO2，theratiooftwoglasspowdersandtheratioofwt o conductivephasesonthechangeofresistancevaluewerestudied．Severalwaystobringdownthechange ofresistancevaluewereproposed． Keywords：composite；thick-filmresistor；RuO2；CaRuO3；BaRuO3；changeofresistancevalueafterrefMng 厚膜 电阻浆料是由导电相、玻璃相、有机载体 定性好、阻值范围宽和可在大气中烧成等一系列优 和其它氧化物组成的复合材料体系，广泛用于集成 点_l，引，成为应用最广泛的厚膜 电阻浆料。 电路中 】。厚膜 电阻的导电机制与其导电相的体积 钌系厚膜 电阻浆料采用的导电相通常是超细的 分数有关，当导 电相粒子的体积分数较高时，导 电 脱水氧化钌、钌酸盐及其衍生物等 氇】，对导电相的 相粒子可相互接触，形成连续的导电通路，导电机