稀土元素对键合金丝组织与性能的影响.pdfVIP

2011年 2月 贵 金 属 Feb．201l 第32卷第 1期 PreciousMelals Vo1．32，No．1 稀土元素对键合金丝组织与性能的影响 杨 国祥，郭迎春 ，孔建稳，刀 萍，管伟明 (贵研铂业股份有限公司 稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106) 摘 要：研究了稀土元素Eu对金丝再结晶温度、组织、力学性能以及热影响区(HAZ)的作用。研究 结果表明，添加一定量的Eu可以：①提高金丝的再结晶温度；②细化金丝的晶粒；③增加金丝的强 度；④减小金丝的HAZ长度，即添加适当的稀土元素对于开发高强度低弧度键舍金丝有积极作用。 关键词：金属材料；键合金丝；稀土元素；热影响区 中图分类号：TG146．32 文献标识码 ：A 文章编号：1004—0676(2011)01—0016一o4 EffectsofRareEarthElements onStructureandPropertiesofGoldBondingW ire YANG Guoxiang，GUo Yingchun ，KONG Jianwen，DAO Ping，GUAN Weiming (StatekeyLaboratoryofAdvancedTechnologiesforComprehensiveUtilizationofPlatinumMetals， Sino—PlatinumMetalsCo．Ltd．，Kunming650106，China) Abstract：Inthispaper，effectsofrareearthelementEuonrecrystallizationtemperature，structure，me— chanicalpropertiesandheat—affectedzone(HAZ)ofgoldbondingwirewerestudied．Theresults showedthataddingmoderatedopantsEuto5Ngoldcanimprovepropertiesofgoldwire，e．g．：1)raising therecrystallizationtemperature；2)reducingthegrainsize；3)increasingthestrength；4)reducingthe length ofHAZ．Soaddingmoderatedopantsplayapositiveroleondevelopinggoldbondingwires，with high—strengthandlow—radianswhenbonding． Keywords：metallicmaterials；goldbondingwire；rareearthelement；heat—affectedzone 、 键合金丝作为微 电子封装用内引线，是集成电 有关键合金丝中添加微量元素的研究热点为 路及半导体分立器件的四大基础材料之一…。近年 碱土金属和稀土元素，其中碱土金属 Ca和Be研究 来随着半导体元器件应用场合的条件恶劣化和多样 的最多 J，而对稀土元素的研究报道则相对较少。 化，对键合金丝能承受键合过程中机械应力和温度 稀土元素具有很高的电负性和较大的原子半径 影响的要求越来越苛刻。而且随着半导体元件集成 (见表 1)，在金中添加适量的稀土元素可使晶粒细 度的进一步提高，半导体元件上的电极数增多，电极 化，改善锭坯组织，提高金丝的加工性能、机械性能 间距变窄，这就要求金丝的直径更细、强度更高，而 和综合使用性能等。作者采用真空连铸的方法制备 且有更短的热影响区来实现低弧键合。因此，具有 金锭，研究了稀土元素 Eu对键合金丝再结晶温度、 高强