多晶硅成品检测实验室取样、酸洗、气源影响因素原因分析.pdfVIP

50 福建分析测试 FujianAnalysisTesting 2015，24（1） 多晶硅成品检测实验室取样、酸洗、气源影响因素原因分析 高亚丽 （黄河水电光伏产业技术有限公司，青海 西宁 810000 ） 摘 要：多晶硅作为拉制单晶硅的重要原料，在硅材料检测分析及研究领域有着重要的意义 ，而因影响其质量检测 分析的原因具有多样性特点，因此若确保检测分析结果的准确性和可靠性，就需要从人、机、料、法、环、测几个方面 严格控制，尤其是在产品检测中尤为重要，人员、检测方法、环境污染等均会导致结果的偏差。 关键词：多晶硅；成品检测；取样；酸洗；气源 中图分类号：TQ016 文献标识码：A 文章编号：1009-8143（2015）01-0050-00 Doi:10.3969/j.issn.1009-8143.2015.01.13 Polysilicon ，pickling，finished product testing laboratory sampling gas source influence factors analysis of the causes Gao Ya- li （HuangheHydropowerPhotovoltaicIndustryTechnologyCo.，Ltd ，Xining，Qinghai810000，China） Abstract:polycrystallinesiliconasanimportantrawmaterial，thecontrolofsinglecrystalsiliconinsiliconmaterialtesting analysisandtheresearchhasimportantsignificance，andduetoanyreasonattributabletoaffectitsqualitydetectionanaly⁃ sishavethecharacteristicsofdiversity，ifthereforeensurethattestingtheveracityandreliabilityofanalysisresults，you needfromman，machine，material，method，ring，measuringseveralaspectsofstrictcontrol，especiallyinproducttesting isespeciallyimportant，personnel，testingmethods，environmentalpollutionandsoonwillallcausethedeviationofthere⁃ sult. Keywords: polyproducttestingsampleacidgassource. 由于多晶硅结构比较复杂，目前尚未有简便、 为了有效控制实验室检测带来的污染，采取了 [1] 多因素实验分析来论证多晶硅检测分析过程中等 准确检验多晶硅的方法 。无论是国家标准还是国 [3] 际标准中都规定：要鉴定多晶硅的质量，首先要对 因素对质量检测分析的影响程度 。 多晶硅钻取样棒，然后将样棒放入区熔炉生长成单 晶，彻底消除晶界对测量带来的干扰，才能取得比 实验分析方法概述 较真实的结果。 在检验多晶硅质量过程中，往往关心最终的测 试剂、水、气源、容