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多晶硅成品检测实验室取样、酸洗、气源影响因素原因分析.pdf

50 福建分析测试 FujianAnalysisTesting 2015,24(1) 多晶硅成品检测实验室取样、酸洗、气源影响因素原因分析 高亚丽 (黄河水电光伏产业技术有限公司,青海 西宁 810000 ) 摘 要:多晶硅作为拉制单晶硅的重要原料,在硅材料检测分析及研究领域有着重要的意义 ,而因影响其质量检测 分析的原因具有多样性特点,因此若确保检测分析结果的准确性和可靠性,就需要从人、机、料、法、环、测几个方面 严格控制,尤其是在产品检测中尤为重要,人员、检测方法、环境污染等均会导致结果的偏差。 关键词:多晶硅;成品检测;取样;酸洗;气源 中图分类号:TQ016 文献标识码:A 文章编号:1009-8143(2015)01-0050-00 Doi:10.3969/j.issn.1009-8143.2015.01.13 Polysilicon ,pickling,finished product testing laboratory sampling gas source influence factors analysis of the causes Gao Ya- li (HuangheHydropowerPhotovoltaicIndustryTechnologyCo.,Ltd ,Xining,Qinghai810000,China) Abstract:polycrystallinesiliconasanimportantrawmaterial,thecontrolofsinglecrystalsiliconinsiliconmaterialtesting analysisandtheresearchhasimportantsignificance,andduetoanyreasonattributabletoaffectitsqualitydetectionanaly⁃ sishavethecharacteristicsofdiversity,ifthereforeensurethattestingtheveracityandreliabilityofanalysisresults,you needfromman,machine,material,method,ring,measuringseveralaspectsofstrictcontrol,especiallyinproducttesting isespeciallyimportant,personnel,testingmethods,environmentalpollutionandsoonwillallcausethedeviationofthere⁃ sult. Keywords: polyproducttestingsampleacidgassource. 由于多晶硅结构比较复杂,目前尚未有简便、 为了有效控制实验室检测带来的污染,采取了 [1] 多因素实验分析来论证多晶硅检测分析过程中等 准确检验多晶硅的方法 。无论是国家标准还是国 [3] 际标准中都规定:要鉴定多晶硅的质量,首先要对 因素对质量检测分析的影响程度 。 多晶硅钻取样棒,然后将样棒放入区熔炉生长成单 晶,彻底消除晶界对测量带来的干扰,才能取得比 实验分析方法概述 较真实的结果。 在检验多晶硅质量过程中,往往关心最终的测 试剂、水、气源、容

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