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第二篇 传感器原理 第一章 电阻应变传感器 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 各种形式单臂桥输出情况： 等臂桥： 第一对称电桥：(同上）第二对称电桥：R1=R4=R，R2=R3=R’，令k=R/R’ 结论：K=1时灵敏度最大，除此之外灵敏度变小。 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 第二对称电桥，灵敏度系数随k变化关系图 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 2）半桥分析：R1=R1+ΔR1，R2=R2-ΔR2， ΔR1= ΔR2 对于等臂电桥和第一电桥： 对于第二电桥： 3）全桥分析： 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 根据泰勒级数展开公式： 可得： 思考：已知某应变片灵敏度系数K=2，测量桥路为单臂第一对称电桥，如果要求相对误差不大于1%，对被测量的应变范围有什么要求？ 3.单臂电桥非线性分析：δL=(UO-U0’)/U0*100%非线性产生原因：忽略分母中ΔR。1)对于等臂桥和第一对称桥来说： 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 2）对于第二电桥：R1=R4=R，R2=R3=R’，k=R/R’ 结论：当k1时，k/（k+1）1/2，第二电桥非线性误差大于第一电桥和等臂电桥。当k1时，第二电桥非线性误差小于第一电桥，但是灵敏度系数下降快。当k=1时，为等臂电桥。 3）差动半桥和全桥不存在非线性误差 * * 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 教学目标：1.通过对本章的学习，掌握金属应变片传感器构成原理及特点2.通过对电阻应变片测量桥路的分析，掌握测量电桥的结构、形式、特点及相关的测量计算。 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 补充:弹性敏感元件 1.轴向应变： εl =ΔL/L（微应变、毫应变） 2.横向应变： εr=Δd/d 3.泊松系数： -μ= εl/εr（当应力未超过一定限度时，泊松系数为常数） 4.应力：σ=F/A（柱式弹性元件在远离端面的截面上应力 的分布是均匀的） 5.虎克定律：σ=Eε（E为弹性模量，在弹性范围内，应变与应力有线性关系） 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 第一节 基本知识 1.理论推导： 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 式中K0为应变灵敏度系数，由两部分组成：式中第一项中μ= - εl/εr ，取决于导体的几何尺寸变化，对于给定材料是一常数。 式中第二项取决于材料电阻率变化。 对于金属导体而言，机械应变所引起的电阻率变化很小，可以忽略不计。金属丝电阻相对变化与轴向应变成正比。通常K0在1.8～3.6范围内。 半导体电阻的受应力变化主要由电阻率变化引起的（压阻效应）。 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 压阻效应：电阻率的变化率与应力成正比。 由虎克定律：σ=Eε 在应力作用下，半导体电阻的变化主要由压阻效应引起的， 远大于第一项。 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 第二节 金属应变片 一、基本类型及构成材料： 1.基本类型： 1）丝式：线径0.012~0.05mm金属电阻丝绕成敏感栅。 2）箔式：采用光刻技术刻成很薄的金属箔栅。 3）薄膜式：厚度0.1 μm以下。 1—基底2—敏感栅 3—盖层4—引线 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 2.构成材料： 1） 敏感栅：由金属细丝绕成栅形。应变片栅长大小关系到所测应变的准确度，应变片测得的应变大小是应变片栅长和栅宽所在面积内的平均轴向应变量。 对敏感栅的材料的要求： ①应变灵敏系数大，并在所测应变范围内保持为常数； ②电阻率高而稳定，以便于制造小栅长的应变片； ③电阻温度系数要小； ④抗氧化能力高，耐腐蚀性能强； ⑤在工作温度范围内能保持足够的抗拉强度； ⑥加工性能良好,易于拉制成丝或轧压成箔材； ⑦易于焊接，对引线材料的热电势小。 对应变片要求必须根据实际使用情况，合理选择。 《检测技术及仪表》唐山学院 ? 信息工程系 2） 基底和盖片：基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置，盖片既保持敏感栅和引线的形状和相对位置，还可保护敏感栅。基底的全长称为基底长，其宽度称为基底宽。 资料： 1）金属丝式应变片分为圆角线栅和直角线栅。 圆角线栅是最常见的形式，制造的设备和技术都简单，但横向效应较直角线栅和箔式应变片大。线栅采用圆断面的康铜（或其他材料）制成，线材直径0.012~0.05mm（0.025最常用），电阻一般在100欧以上。 直角线栅是数条线材平行放置，焊上大面积铜条，形成横向线和引线，减小横向效应的影响。其缺点是耐疲劳性能差。