二维微动工作台的定位误差补偿实验.pdfVIP

2013年 11月 机床与液压 NOV．20l3 第41卷 第21期 MACHINET00L HYDRAULICS Vo1．41No．21 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2013．21．006 二维微动工作台的定位误差补偿实验 林杰俊，李东升，沈小燕 (中国计量学院计量测试工程学院，浙江杭州 310018) 摘要：随着科学技术的发展，超精密定位技术在各领域得到了广泛应用，它的研究对 MEMS技术的发展具有重要的意 义。对具有纳米定位精度的二维微动工作台的定位误差进行研究。首先，对分辨率为0．15nm的双频激光干涉仪进行了测 量误差分析 ，其标定二维微动工作台时的测量精度为 14．4nm；利用该激光干涉仪标定时温漂的近线性关系去除了定位误 差中的综合误差 ，采用反相补偿法对定位误差中的系统误差进行了补偿。测得该工作台补偿前的定位误差在250—300nm 之间，在空气弹簧隔振平台上进行了误差补偿实验，测得补偿后两轴的定位误差分别为20nm和25nm左右。实验证明了 该种方法用于补偿纳米定位系统的可行性。 关键词 ：二维微动工作台；纳米定位；定位误差；反相法 中图分类号 ：TH89 文献标识码：A 文章编号 ：1001—3881(2013)21—019—4 ExperimentonCompensationofPositioningErrorforTwo-dimensionM icro DisplacementStage LINJiejun，LIDongsheng，SHENXiaoyan (CollegeofMetrologicalandMeasurementEngineering，ChinaJiliangUniversity， HangzhouZhejiang310018，China) Abstract：Alongwiththedevelopmentofscienceandtechnology，theultra-precisionpositioningtechnoloyg hasbeenwidelyap— pliedinvariousfields，anditsresearchisofgreatsignificanceforthedevelopmentofMicro—electromechanicalSystems(MEMS)tech— noloyg ．Theresearchoncompensationofpositioningerrors fortwo—dimensionmicrodisplacementstagewithnano—positioningaccuracy wasaimedat．Firstly，themeasurementerroroftwo—frequencylaserinterferometerwithresolutionat0．15nm wasanalyzed，andthe measuringaccuracywasat14．4nm whenitwascalibratingthetwo—dimensionmicrodisplacementstage．Thesyntheticerrorinpositio· ningerrorsbytheapproximatelylinearrelationshipoftemperaturedriftwhencalibratingbyusingitwasremoved，andthesystematicer— rorinpositioningerrors wascompensatedbyreversedphasemethod．Theerrorcompensationexperimentsweredoneintheairspring platform ，na ditwasfoundthemeasuredpositioningerrorofthestage，beforecompens